Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9229271 zu verkaufen
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ID: 9229271
Mask aligner
Top side only
Power supply: CIC 1000
PC type: TYAN / FN 9160015
Relay interlock box
TSA microscope
TSA objectives: 5x / 0.15, 10x / 0.30, 20x / 0.40
COGNEX 5000
Power meter
Exposure optics: UV 400 HP
Pre-aligner
Mask holder
Voltage: 230 V
Lamp: 350 Watts bulb
2001 vintage.
KARL RUß/MICROTEC MA-150 ist ein vielseitiger und zuverlässiger Maskenausrichter für die Ausrichtung dünner Substrate zur Herstellung mikroelektronischer Bauelemente. MICROTEC MA150 basiert auf einer modularen Struktur und besteht aus einem Großrechner, in dem die Optik, wie Objektiv und Kameras, sowie eine Probenplatte untergebracht sind. Die Optik und Mechanismen bewegen sich zwischen der Probenplatte und den Wafern, die durch die Maske genau ausgerichtet sind. Die Präzisionsoptik von KARL RUß MA 150 wird von präzisen Schrittmotoren angetrieben und die X-, Y-, Z- und θ-Achse werden verwendet, um das Probenfutter bzw. das Maskenfutter während der Ausrichtung genau zu bewegen. Seine einzigartige Mask-zu-Wafer-Ausrichtungstechnik wird auch verwendet, um Musterfehlstellungen zu minimieren, und sein fortschrittliches Design hilft bei der genauen Ausrichtungsgenauigkeit. MICROTEC MA-150 verfügt hinsichtlich seiner Leistung über eine hochpräzise Fähigkeit von bis zu 0,5 Mikrometer Genauigkeit bei einem maximalen Spannfutterweg von 15mm. Es verfügt über eine breite Palette von Belichtungsfähigkeiten, mit einer maximalen Belichtungsfläche von 4,5 mm x 6,0 mm und einer maximalen Korrektur von 24,5 ° sowohl in X- als auch in Y-Achsen. Zusätzlich bietet KARL RUß/MICROTEC MA150 je nach Größe und Komplexität der Wafer einen hohen Durchsatz von bis zu acht Wafern pro Stunde. Darüber hinaus hat MA150 eine robuste Konstruktion, und seine ausgeklügelte Ergonomie macht es für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen geeignet. Der modulare Aufbau von KARL RUß/MICROTEC MA 150 ermöglicht eine einfache Wartung und Reparatur, wobei das Unternehmen Ersatzteile und Dienstleistungen für seine Kunden anbietet. Abschließend ist MA-150 ein zuverlässiger und vielseitiger Maskenausrichter, der sich für die Herstellung mikroelektronischer Geräte eignet. Es bietet hohe Präzision, ein breites Spektrum an Belichtungsfunktionen und einen hohen Durchsatz, was es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen macht.
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