Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9250392 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9250392
Wafergröße: 6"
Mask aligner, 6"
Wafer type: Silicon
Chuck: Wafers, 6" and mask, 7"
Cassette to cassette
No BSA.
KARL RUß/MICROTEC MA-150 Mask Aligner ist eine leistungsstarke und vielseitige Mikrofabrikationsanlage für eine breite Palette von Photolithographieanwendungen, von der Nanometer-Präzisionsmusterung von Halbleiterbauelementen bis zur Herstellung fortschrittlicher Flüssigkristalldisplays und optischer Bauelemente. MICROTEC MA150 nutzt Schrittmotortechnologien, um eine präzise Schrittmotor angetriebene lineare Stufe zu bewegen, die in der Lage ist, ein Substrat bis zu 6-Zoll-Quadrat genau zu positionieren. Dieses Substrat wird durch ein an der Bühne angebrachtes Vakuumsystem gehalten. Das Substrat wird dann mit einer aus abgetasteten Kunstwerken und Retikeln hergestellten Maske ausgerichtet, die auf die obere Stufe aufgesetzt wird. An dieser Stelle sind sowohl die obere als auch die untere Stufe exakt mit einer CCD-Sensoreinheit und einem fein verstellbaren Spiegel ausgerichtet. KARL RUß MA 150 bietet einen Wellenlängenbereich von 365 bis 405nm, der eine Exposition gegenüber hochempfindlichen Photoresists ermöglicht. Darüber hinaus zeichnet es sich durch eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit der Belichtung über das gesamte Substrat aus. Um eine gleichbleibende und zuverlässige Leistung zu gewährleisten, wird ein hohes Maß an Leistung am Gerät aufrechterhalten und eine automatische Selbstdiagnose durchgeführt. KARL RUß/MICROTEC MA 150 Maske Aligner verfügt auch über eine Reihe von erweiterten Funktionen, wie: eine wiederholte Belichtung und Programmierung Maschine, so dass Benutzer eine Reihe von sich wiederholenden Mustern zu produzieren; automatischer Betrieb mit einer benutzerfreundlichen Anzeigeschnittstelle; und automatische Neukalibrierung unter Verwendung des CCD-Sensorwerkzeugs. Darüber hinaus beinhaltet KARL RUß MA150 einen automatischen Gummituchreinigungs- und Kantensensor zur Erkennung des Substrats. MA150 Maske Aligner ist mit Qualitätskomponenten gebaut und gilt als zuverlässig und präzise. Ingenieure, universitäre Forschungszentren und Gerätehersteller vertrauen darauf, dass sie konsistente und zuverlässige Leistungen liefern. KARL RUß/MICROTEC MA150 ist ein unschätzbares Gut für Unternehmen, die ein effektives, hochwertiges Maskenausrichtungsgut mit minimalen Ausfallzeiten suchen.
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