Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9384739 zu verkaufen
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KARL RUß/MICROTEC MA-150 ist ein vollautomatischer Maskenausrichter für Lithographieverfahren in der Halbleiterbauelementherstellung. Es wird verwendet, um mikroelektronische Schaltungsmuster auf die Oberfläche eines Wafers zu übertragen. MICROTEC MA150 liefert über ein optisches Quarzfenster bis zu 15 Milliwatt (mW) Expositionsenergie an den mit Resist bedeckten Wafer. KARL RUß MA 150 bietet eine Vielzahl von Funktionen, darunter hohe Ausrichtungsgenauigkeit, weites Sichtfeld und hoher Durchsatz. Zur genauen Registrierung und Ausrichtung der Maske und des Wafers ist das Gerät mit einem hochauflösenden visuellen Ausrichtsystem und einer optionalen automatisierten Ausrichteinheit ausgestattet. KARL RUß MA150 verfügt außerdem über ein optisches Fenster mit hohem Index, ein Belichtungsenergiepegel von 0.1mW bis 15mW, eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge zwischen 535-650nm und ein großes Sichtfeld, das einen 7-Zoll-Wafer abdeckt. Die Maschine ist für Halbleiterbelichtungsprozesse mit hoher Belichtungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit, hohem Durchsatz und niedrigem Preis optimiert. MICROTEC MA-150 kann in einem breiten Temperaturbereich betrieben werden, einschließlich Temperaturen bis zu 50 Grad Celsius, um eine gleichmäßige Photoresist-Belichtung über den gesamten Wafer zu gewährleisten. KARL RUß/MICROTEC MA 150 ist einfach zu bedienen und mit einem benutzerfreundlichen Touchscreen-Display und einer Vielzahl von Belichtungsrezepten ausgestattet, die programmiert und gespeichert werden können. Das Werkzeug ist auch in der Lage Dunkelfeld und Hellfeld Bildgebung, die eine einfachere Fehlererkennung ermöglicht. Die Belichtungsmuster können im Speicher gespeichert und für wiederholte Belichtungen zurückgerufen werden. Darüber hinaus bietet MICROTEC auch eine optionale Belichtungsgenerator-Software an, mit der ein gespeichertes Belichtungsmuster modifiziert werden kann. MA150 ist eine leistungsfähige Ausrichtungs- und Lithographieanlage, die zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse liefert und ideal für Anwendungen ist, die anspruchsvolle und genaue Lithographieverfahren erfordern. Es ist ein äußerst vielseitiges und leistungsstarkes Werkzeug für die Herstellung von kleinen und großen integrierten Schaltungen.
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