Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9389834 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA-150 ist ein professioneller, automatisierter Maskenausrichter, der präzise Photolithographieoperationen im sehr feinen, komplexen FAB-Raum integrierter Schaltungen durchführt. Dieser Aligner ist robust, präzise und modular und ermöglicht eine Anpassung an eine Vielzahl von Benutzeranforderungen. MICROTEC MA150 ist eine vollautomatische Photolithographie-Ausrüstung mit einer sicheren und zuverlässigen vakuumdichten taumelfreien Kammer, die eine präzise, wiederholbare Ausrichtung und gleichmäßige Belichtung des Wafers von 1-99 Wafermasken ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das System über ein mechanisches Teilsystem mit geringer Kraft, das einen präzisen Betrieb auch in schwingungsanfälligen Umgebungen ermöglicht. KARL RUß MA 150 verfügt über eine 24-Bit-Nanometer-Stufenauflösung und eine eingebaute intelligente Prozesssteuerung, die eine Submikron-Ausrichtungsgenauigkeit sowie eine stabile, präzise Belichtungssteuerung ohne Band- oder andere Bildmängel ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein empfindliches optisches Modul, das die Messung eines kleinen Bereichs mit hoher Wiederholbarkeit der Brennweite ermöglicht und eine präzise Positionierung von Masken und Wafern ermöglicht. KARL RUß/MICROTEC MA150 verfügt auch über eine abnehmbare Bühne, die es dem Anwender ermöglicht, die Maschine einfach nach ihren bevorzugten Spezifikationen anzupassen. Das Gerät ermöglicht eine Reihe von Techniken wie Nassätzen, Photolackentwicklung und -härtung, Vakuumsputtern und Wärmebehandlung. Das Werkzeug kann auch verwendet werden, um dicke Wafer in Chargenkammertechnik zu verarbeiten. Die Anlage ist in der Lage, Folien bis zu einer Dicke von 1,5 μ m und Masken bis zu 1,7 nm Linienbreiten bereitzustellen. Darüber hinaus ermöglicht das Modell On-the-Fly-Retikel, so dass Benutzer während des Photolithographie-Prozesses Gestaltungsänderungen vornehmen können. MA150 unterstützt auch eine umfassende Rezepturbibliothek für die Programmierung von Photolithographie-Prozessen. Das Gerät bietet zudem flexible Optionen für die automatisierte Kalibrierung mit integriertem Kalibriermonitor, der eine reibungslose und genaue Verarbeitung gewährleistet. Darüber hinaus ist MA 150 kompatibel mit anderen Systemen der MICROTEC-Produktlinie und ermöglicht einen Klick-Transfer von Rezepturen von einem System zum anderen und bietet so eine effiziente und flexible Produktionslösung.