Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9395014 zu verkaufen
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ID: 9395014
Wafergröße: 4"
Mask aligner, 4"
Cassette to cassette
Contact / Proximity mode
Does not include BSA
Power supply: 220 V, 60 Hz.
KARL RUß/MICROTEC MA-150 ist ein Masken-Aligner, der häufig zur Ausrichtung und Freilegung von Nanostrukturen auf einem Substrat während der Mikrofabrikation verwendet wird. Sie ist in der Lage, Strukturen wie nanofabrizierte Muster, Elektronenstrahlbauelemente und Halbleiterbauelemente auf ein Substrat zu belichten. MICROTEC MA150 bietet eine genaue Ausrichtung der Maske auf das Substrat sowie eine präzise Belichtung der gewünschten Fläche für die Nanostruktur. KARL RUß MA 150 verfügt über eine Reihe von Funktionen, die es zu einem idealen Werkzeug für die Mikrofertigung machen. Es ist eine hochpräzise Maschine, die große Positionsgenauigkeit und ausgezeichnete Wiederholbarkeit hat. Es verwendet einen festen Strahlteiler und eine Schrittmotor-Scanausrüstung, um die Maske und das Substrat auszurichten und die gewünschten Nanostrukturen genau freizulegen. Es verfügt auch über integrierte Steuerungssoftware, um präzise Verarbeitungsparameter zu gewährleisten. MA-150 verfügt über eine hervorragende Temperaturregelung und bietet Belichtungszeiten von Millisekunden bis Minuten, je nach zu belichtendem Material. Die Maschine bietet eine programmierbare automatische Belichtung und unterstützt verschiedene Belichtungssequenzen zur Herstellung komplexer Muster. Darüber hinaus ermöglicht das Open-Architecture-Design die Integration anderer Komponenten in das System. MA150 kommt mit einer Reihe von Belichtungsquellen, einschließlich einer 300-W Xenon-Bogenlampe, einer 150-W Wolfram-Lampe, einer kohärenten Laserdiode (CLD) Laserdiode und einem Laser Direct-Write (LDW) Belichtungskopf. Die Belichtungsquelle kann automatisch zwischen nassen und trockenen Platten umgeschaltet werden. Die Ausrichteinheit ermöglicht eine präzise Belichtung bei einer Auflösung von 1 µm und die Ausrichtkammer ist zur Aufrechterhaltung des Vakuums abgedichtet. KARL RUß/MICROTEC MA 150 unterstützt auch eine breite Palette von Materialien, darunter Halbleitermaterialien, Photoresistmaterialien, Verbundmaterialien und viele andere. Die Maschine ermöglicht den Einsatz von Standardmasken und einer Reihe fortschrittlicher Maskierungstechniken. Das Tool unterstützt auch eine Reihe von Resist-Entwicklungslösungen, und mehrere Prozesse können in einzelne Belichtungssequenzen integriert werden. KARL RUß MA150 ist ein kostengünstiger und benutzerfreundlicher Maskenausrichter für die Herstellung von elektronischen Kleinteilen. Seine Genauigkeit und Präzision macht es zu einem idealen Werkzeug für Mikrofabrikationsprozesse. Die Anlage wurde entwickelt, um eine Reihe von Expositionsquellen und Materialien zu unterstützen und bietet Anwendern effiziente Prozesse für eine genaue Ausrichtung und Exposition der Strukturen.
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