Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 150c #9379206 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 150c ist ein hochmoderner Maskenausrichter. Es ist eine hochentwickelte Maschine, die Lithographie, Photoresist-Entwicklung und Ätzen für eine Vielzahl von mikroelektronischen Geräteherstellungsprozessen durchführen kann. MICROTEC MA 150c verfügt über ein Zweikammerdesign mit separaten reinraumkompatiblen Prozesskammern für manuelle sowie automatisierte, Belichtungs- und Nachbelichtungsanwendungen. KARL RUß MA 150 C hat eine starre geschmiedete Aluminiumkonstruktion, die über ihre volle Arbeitshöhe von 1,5m eine hochsteife Abstützung bietet. Diese Struktur ist auch mit einem gleichmäßigen schwarzen Epoxid zur Wärme- und Lichtabsorption beschichtet. Die gut gepolsterten Y-Z- und Θ- Φ-Achsen sorgen für eine hohe Präzisionsausrichtung bei einer hohen Kapazität von bis zu 20 kg Objekten. Der volle Arbeitsbereich ist in der Lage, flache Flächen bis 203mm x 203mm in der Größe aufzunehmen. KARL RUß/MICROTEC MA 150 C verfügt über ein integriertes Laserausrichtsystem bestehend aus zwei Schrank-Laserquellen und einem Abtastspiegel, was eine hohe Genauigkeit bei der Photomaskenpositionierung ermöglicht. Zur Bequemlichkeit enthält es auch einen halbautomatischen 4-Spur-Wafer und Belichtungshandler, der die Platzierung und den Austausch von Photomasken und Waferrahmen innerhalb von Sekunden ermöglicht. Neben der Lithographie ist KARL RUß MA 150c auch mit einer vollautomatischen Entwicklungsstation und einem Nachbelichtungs-Stempelüberzug ausgestattet. Die Entwicklungsstation und der Schlitzdüsenüberzug ermöglichen die präzise Abscheidung von Fotolack unterschiedlicher Art. Nach der Belichtung wird die Maske automatisch wieder in den Aligner übertragen, um ggf. den Ätzvorgang zu ermöglichen. MA 150c ist für einen hohen Durchsatz ausgelegt, der eine durchschnittliche φ über φ Maskenausrichtungsgenauigkeit von 0,2 Mikrometern ermöglicht. Während volle Automatisierung zur Verfügung gestellt wird, verfügt es auch über eine einfach zu bedienende Benutzeroberfläche, die eine komfortable Steuerung und Überwachung der Prozesse der Maschine bietet. MA 150 C wird durch ein integriertes Peltier-Modul von 15 bis 35 ° C temperaturgeregelt und ist so konzipiert, dass eine konstante Temperatur gewährleistet ist. Insgesamt ist MICROTEC MA 150 C Mask Aligner eine hochmoderne Maschine, die eine hochgenaue und präzise Maskenausrichtung bietet, kombiniert mit Vollautomatisierung und einer benutzerfreundlichen Steuerungsschnittstelle und ist damit ein ideales System für die Herstellung mikroelektronischer Geräte.