Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA-150E #9131075 zu verkaufen

ID: 9131075
Wafergröße: 2"
Weinlese: 1995
Mask aligner, 2" 1995 vintage.
KARL RUß/MICROTEC MA-150E ist ein automatisiertes Maskenausrichtgerät, das für die präzise Mikrofabrikation in vielen Anwendungen wie Photolithographie, Dünnschichtabscheidung und Solarzellenproduktion eingesetzt wird. Das System ist für hohe Genauigkeit und hohe Durchsatzleistung ausgelegt. Es besteht aus einer Hauptsteuereinheit, einem Schrittmotor, einem Vakuumfutter, einem Ausrichtungssensor und einer Reihe von Gelenkarmen, die ein Substrat durch eine Reihe von Stufen bewegen können. Die Hauptsteuereinheit in MICROTEC MA 150E ist eine mikroprozessorgesteuerte Einheit mit einer intuitiven Benutzeroberfläche. Es ermöglicht eine einfache Programmierung und Bedienung der Maschine. Alle Komponenten des Werkzeugs können von der Schnittstelle aus gesteuert werden, was eine genaue Steuerung der Ausrichtung und Belichtung des Substrats ermöglicht. Der Schrittmotor ist ein Niederenergie-Motor, der eine präzise Positionierung und Bewegung der Gelenkarme ermöglicht. Das Vakuumfutter ist dafür verantwortlich, das Substrat während der Belichtung fest zu halten. Der Ausrichtungssensor misst dann die Neigung des Substrats und macht Korrekturen erforderlich. Das Asset bietet sowohl manuelle als auch automatische Ausrichtungsoptionen. Für die manuelle Ausrichtung sind am Futter und am Halter Ausrichtungsmarkierungen vorhanden, die leicht sichtbare Referenzpunkte ermöglichen. Dies ermöglicht eine präzise Positionierung und Ausrichtung des Materials. Die automatische Ausrichtungsoption verwendet die' optische Auto-Zentrierung '-Technologie, um die Markierungen zu erkennen und die Korrekturen automatisch vorzunehmen. Dies vereinfacht den Prozess und reduziert die Benutzerinteraktion. KARL RUß MA 150 E ist aufgrund der erhöhten Genauigkeit und der verbesserten Benutzeroberfläche in der Lage, schneller zu arbeiten als die meisten normalen Maskenausrichter. Es kann eine Auflösung von 25nm und Belichtungszeiten von 8 bis 250 Sekunden je nach gewünschter Qualität erreichen. Es ist einfach zu bedienen und erfordert eine minimale Wartung, so dass es eine ideale Wahl für große Maskenausrichtungsprojekte. Seine Zuverlässigkeit und Genauigkeit machen es zu einem branchenführenden Modell.
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