Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 200 CC #293806364 zu verkaufen
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ID: 293806364
Wafergröße: 8"
Mask aligner, 8"
Cassette to cassette
TSA
Auto alignment
Lamp: 1000 W
UV400 Mirror house
Proximity mask holder, 9"
Wafer chuck, 8"
CIC1000 Power supply.
KARL RUß/MICROTEC MA 200 CC ist ein Masken-Aligner für Photolithographieverfahren. Es wurde entwickelt, um eine hochpräzise optische Ausrichtung für die Positionierung von Wafern auf einer Bühne mit genauen X-Y-Z-Bewegungsfunktionen bereitzustellen. Dieses Gerät ermöglicht Anwendungen, die sehr hohe Genauigkeit erfordern, wie Halbleiterverarbeitung, optische Beschichtung, LCD, LED, MEMS und Dünnschichtabscheidung. MICROTEC MA 200CC umfasst einen 198 mm aktiven Felddurchmesser und eine 7,9 μ m Wiederholbarkeit sowie eine Öffnung bis 175 mm. Es ist mit einer Ausrichtungsmikroskopie ausgestattet, die eine präzise optische Ausrichtung der Wafer gewährleistet. Ferner enthält das Mikroskop ein Lasersystem zur genauen Erfassung von Mustern auf der Maske mit den Wafern. Alle Ausrichtungsfunktionen werden von einer mikroprozessorbasierten Einheit gesteuert. KARL RUß MA-200 CC unterstützt bis zu drei Masken gleichzeitig. Sie bietet mit ihrer hochpräzisen optischen X-Y-Ausrichtmaschine einen höheren Durchsatz: Die Feldgröße beträgt 20x20 mm ² bis 150x150 mm ². KARL RUß MA 200CC ermöglicht auch schnelle Musteränderungen für die Herstellung von Feinmusterschaltungen. Darüber hinaus ermöglicht ein patentiertes Automatisierungswerkzeug die automatische Navigation des Mikroskops, wodurch manuelle Ausrichtung und Wiederholbarkeit und Genauigkeit entfallen. MICROTEC MA-200 CC verfügt zudem über eine automatische Reinigungsanlage, um Kratzer und Rückstände zu reduzieren. Es enthält ein fortschrittliches Substrat-Handhabungsmodell mit einstellbaren Saug- und Hebemechanismen. Der Aligner ist auch so konzipiert, dass er mit verschiedenen Maskenmaterialien wie Quarz, Glas und Epoxid kompatibel ist. MA-200 CC ist ein vielseitiger, hochpräziser Maskenausrichter, der eine hervorragende Kontrolle für Anwendungen bietet, die eine hohe Genauigkeit erfordern. Es bietet eine außergewöhnliche Wiederholbarkeit und Präzisionsausrichtung sowie eine Reinigungsausrüstung, die Kratzer und Rückstände reduziert. Es ist eine gute Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen einschließlich Halbleiterverarbeitung, optische Beschichtung, LCD, LED, MEMS und Dünnschichtabscheidung.
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