Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 200 CC #9182471 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 200 CC Maske Aligner ist ein automatisiertes Lithographiesystem zur Übertragung von Mustern von Photomasken auf Wafer. Es wird typischerweise bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und anderen mikroelektromechanischen Bauelementen verwendet. MICROTEC MA 200CC ist eine kostengünstige Lösung für Anwendungen, bei denen hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit unerlässlich sind. KARL RUß MA-200 CC basiert auf mehreren Schlüsselkomponenten, wie einer Mikroresonanzstufe (MR), die eine präzise und wiederholbare Ausrichtung der Photomaske über den Wafer ermöglicht. Die MR-Stufe ist mit einem piezobasierten Ausrichtsystem gekoppelt, das eine vertikale und seitliche Positioniergenauigkeit der Maske relativ zum Wafer liefert. Zusätzlich nutzt KARL RUß MA 200 CC einen hochdurchsatzreichen, hochauflösenden 6 "Stepper, der einen optischen Durchsatz von bis zu 340 µm/s und eine Ausrichtgenauigkeit von ± 1µm in X, Y und Θ liefert. Im Betrieb wird eine Fotomaske auf die MR-Stufe geladen und dann in unmittelbare Nähe zum Wafer gebracht. Photomaske und Wafer werden dann optisch auf die Retikelmarkierung und eine kühle weiße LED ausgerichtet. Diese Ausrichtung erfolgt mit einem Drei-Kamera-Verfahren vor der Ausrichtung und Belichtung des Wafers. Nach beendeter Ausrichtung wird der Wafer freigelegt und dann die MR-Stufe in die nächste Belichtungsposition bewegt. Wenn alle Belichtungen abgeschlossen sind, wird die Fotomaske entladen und eine neue Fotomaske für weitere Belichtungen geladen. Zusätzlich zu diesem herkömmlichen Lithographieverfahren umfasst KARL RUß MA 200CC ein automatisiertes Protokoll zur gleichzeitigen Ausrichtung und Belichtung mehrerer Wafer zur Maximierung der Produktivität. MA 200 CC bietet eine Vielzahl von Funktionen, die es zu einem wesentlichen Werkzeug bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen machen. Es bietet eine Auflösung von 0,5 μ m bis 10 μ m und kann verschiedene Substratmaterialien wie Polymere und Hybride belichten. Darüber hinaus ist es preislich wettbewerbsfähig und kann für eine Vielzahl von Prozessschritten und Materialien angepasst werden. MICROTEC MA-200 CC ist ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug, das den hohen Anforderungen an die Herstellung hochwertiger mikroelektronischer Geräte gerecht wird. Dadurch ist es zu einem wesentlichen Bestandteil jedes Lithographielabors für die Herstellung komplexer Mikrogeräte geworden.