Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 200 EL #9193662 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 200 EL ist ein Masken-Aligner, der für den Photolithographie-Prozess entwickelt wurde, um Mikron- oder Submikron-Merkmale in mikroelektronischen Geräten zu schaffen. Es eignet sich für Anwendungen wie Photomasken, Repliken, Mikrobearbeitung, MEMS, Diamantdrehen (ultrapräzises optisches Diamantschneiden) und andere. Das Gerät verwendet einen kleinen, schnellen Masken-Aligner, um das gewünschte Muster genau auf die Fotomaske zu zeigen, und dann wird die Maske auf einem Substrat belichtet. Das Gerät ist mit einem 6-Achsen-Bewegungssystem und einem motorisierten Mikroskop ausgestattet, das eine genaue Ausrichtung in Bezug auf das Substrat ermöglicht. Zur Feineinstellung der Belichtungsparameter umfasst die Einheit außerdem einen variablen Winkel und eine motorisierte Schlitzöffnung. MICROTEC MA 200 EL wird von einer X-Y-Abtaststufe gesteuert. Es ist in der Lage, eine Arbeitsfläche von bis zu 200x200mm und eine Anzahl von Probensubstraten von bis zu 25 x 25mm, bis zu 1µm Feldgenauigkeit zur Verfügung zu stellen. Die maximale Geschwindigkeit beträgt 3,5 m/s. Die Maschine verwendet einen leistungsfähigen 16-Bit- SPiD-2-Controller zur Steuerung des motorisierten Schlitzes mit der Bewegungsstufe, wodurch eine Submikron-Genauigkeitsausrichtung erreicht wird. Es enthält auch ein FPGA-basiertes Vision-Tool, das die Position der Substrate automatisch identifizieren kann. KARL RUß MA200 EL enthält einen verbesserten Einzelmasken-Einzelbelichtungsmodus mit einer Belichtungszeit von bis zu 5 Sekunden. Es ist in der Lage, die Belichtungsparameter entsprechend dem Design-Layout automatisch zu steuern. Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Ausrichtung werden durch die Ablenksteuerung erhöht. Zusätzlich ist das Asset in der Lage, den vertikalen Verstellwinkel zwischen Maske und Chip manuell einzustellen. Das Gerät ist kompakt, leicht und sehr wartungsfreundlich, so dass es eine ideale Wahl für praktische Verfahrenstechnik und Entwicklungsanwendungen ist. Es kann einfach in eine Standard-Reinraumumgebung integriert werden.