Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #293618545 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 200 ist ein Maskenausrichter, der die in der Mikroelektronik verwendeten Maskenmuster und Ausrichtungsmarken freilegen, entwickeln und betrachten soll. Es wird verwendet, um hochpräzise und komplizierte Muster auf einer breiten Palette von Substraten wie Photoresists, Edelstahl, Chromoberflächen und Polysilizium zu erstellen. Der Mainframe der Maschine besteht aus einer Auswahl optionaler Komponenten und kann bis zu vier Substratbasen unterstützen. Dies ermöglicht Flexibilität sowie eine Reihe von Produktivitäts- und Kosteneinsparungsoptionen. Benutzer bedienen den Mask Aligner über einen Color TFT Touch-Screen, der eine bequeme und intuitive Benutzeroberfläche bietet. Es stehen verschiedene Ausrichtungsmethoden zur Verfügung, einschließlich Kantenfolgetechniken und spezieller Ausrichtungstechniken, z. B. mit Off-Axis Shift, um IC-KEs in einem definierten Offset und mit einer benutzerdefinierten Genauigkeit zu registrieren. MICROTEC MA200 verwendet eine fortschrittliche optische Ausrüstung mit einer Wellenlänge von 365 nm und bietet eine integrierte NA von 0,40. Dieses System liefert ausgezeichnete Auflösung, gute Feld-für-Feld Ebenheit und konstante Beleuchtung. Zur Musteranzeige ist ein hochauflösender CCD-Sensor mit 4096 x 4096px Auflösung installiert. Zur genauen Ausrichtung kritischer Kontaktlochmuster steht eine spezielle Single-Pupil Aperture zur Verfügung, die die Lichtmenge durch die Maske reduziert. Dadurch ergibt sich eine deutliche Lichtkante, die genau auf den vorgesehenen Zielbereich ausgerichtet werden kann. KARL RUß MA-200 ist auch mit einer Automated Developing Station ausgestattet, die automatisch Substrate an den Entwickler überträgt, die Chemikalie wieder auffüllt und dann an das Modul zurückgibt. Dadurch werden Prozessausfälle vermieden und der Durchsatz verbessert. Zur weiteren Bedienerfreundlichkeit sind Selbstkalibrierungsfähigkeiten mit Musterüberprüfung versehen, wobei die Ausrichtungsmuster bzw. Ausrichtungsmarken automatisch mit in der Einheit gespeicherten Standardreferenzen verglichen werden. Zur weiteren Datensicherung enthält die Maschine eine Autowrite-Funktion, mit der bei Stromausfall Bildverarbeitungsparameter gespeichert und zurückgerufen werden können. Dadurch wird sichergestellt, dass alle Einstellungen und dann verarbeiteten Informationen beibehalten werden. Schließlich kommt MA-200 mit einer leistungsstarken Windows-basierten Software, die verwendet wird, um die Maschine zu steuern und Prozessdaten zu verwalten. Die Software bietet umfangreiche Berichtsfunktionen sowie umfassende Prozessdatenvorschau und Nachbearbeitungsoptionen. Die Software kann auch Kalibrierungsparameter von einer Maschine zur anderen oder von einer Musterbibliothek zur anderen übertragen, was eine einfache Reproduzierbarkeit ermöglicht.