Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9222504 zu verkaufen
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ID: 9222504
Wafergröße: 8"
Mask aligner, 8"
Main body
Power supply
Lamp housing
Vacuum accumulator
CRT Stand
Beacon light tower
Tote-1 Miscellaneous: Computer & mouse
Tote-2 Miscellaneous: Motor & end effectors.
KARL RUß/MICROTEC MA 200 ist ein automatisierter Maskenausrichter zur Präzisionsausrichtung und Belichtung von Photomasken bei der Herstellung mikroelektronischer Geräte. MICROTEC MA200 bietet die Genauigkeit und Geschwindigkeit, die für die Herstellung moderner Mikroelektronik erforderlich sind. KARL RUß MA-200 verwendet einen Stufenobjekttisch, um elektronische Geräte unterschiedlicher Form und Größe in X-, Y- und Z-Richtung exakt auszurichten. Durch die Kombination seiner feinen Steigungsstufe und der genauen mechanischen Ausrichtung kann es eine Submikron-Genauigkeit der Positionierung elektronischer Komponenten und schnelle Rüstzeiten erreichen. MICROTEC MA 200 verwendet zur Positionierung von Objekten oder Substraten einen mechanischen XY-Tisch mit ultrafeiner Steigung in 65.000 Positionen. Leica-Optik bietet ein 200mm-Sichtfeld, um Arbeitsfelder mit hohem Hintergrundkontrast und sogar niedrigen Lichtpegeln zu erfassen, während eine Weißlichtquelle Weitfeldbelichtung für Ausrichtungsziele bietet. KARL RUß/MICROTEC MA200 bietet Mehrfachbelichtungsfunktionen mit bis zu vier Quarzstrahlungslampen und einer Vielzahl austauschbarer Lampenquellen für UV- und sichtbares Licht. Die Lampen sind an ein Netzteil mit einer maximalen Einstellung von 1000 Watt/cm2 angeschlossen. Die Stromversorgung gewährleistet eine gleichmäßige und gleichmäßige maximale Belastung des Substrats. MA200 ist mit Laser-Fiducial-Ausrichtung für optimale Genauigkeit der Teileausrichtung sowie mehreren Schritt- und Wiederholungsfunktionen ausgestattet. Schritt-und-Wiederholung ermöglicht eine effiziente Nutzung des Substratraums, indem die gleiche Struktur automatisch an mehreren Stellen auf dem Substrat wiederholt wird. KARL RUß MA 200 bietet einen neuen Rahmen zur Analyse der globalen Expositionsgleichförmigkeit. Dieses System beinhaltet eine globale Ungleichförmigkeitskompensation (GNUC) und eine erweiterte Prozesssteuerung (Advanced Process Control, APC) und bietet Echtzeit-Feedback und automatisierte Anpassung, was zu verbesserter Zuverlässigkeit und besserer Ausbeute führt. MICROTEC MA-200 Maskenausrichter ist ein wesentliches Werkzeug für eine effiziente und präzise Photomaskenproduktion. Seine hochpräzise mechanische Ausrichtung, Mehrfachbelichtungsfunktionen, Laser-Fiducial-Ausrichtung und APC-System sind alle entworfen, um bei der Herstellung von hochwertigen Photomasken für die Mikroelektronik-Industrie zu helfen.
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