Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9238449 zu verkaufen

KARL SUSS / MICROTEC MA 200
ID: 9238449
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1995
Mask aligner, 6"-8" 1995 vintage.
KARL RUß/MICROTEC MA 200 ist ein vielseitiger Maskenausrichter für photolithographische und optische Ausrichtungsanwendungen in der Mikroelektronik. Dieses Tool kann eine kostengünstige Lösung für kleine bis mittlere Produktionsläufe, Forschung und Entwicklung, Prototyping und Kleinserien sein. Dieser Aligner verfügt über eine große Flüssigkristallanzeige (LCD) zur Bildbetrachtung, einen beweglichen Maskenhalter, einen Dual-Beam-Laser-Monitor zur automatisierten Ausrichtung und eine automatisierte Indexierung der XYZ-Stufen. Es ist mit einer 208 mm x 208 mm Belichtungsfläche und bis zu 5 mm Ausrichtung der Substrate ausgelegt. MICROTEC MA200 enthält eine fortschrittliche Optikausrüstung, die es ermöglicht, komplexe integrierte Schaltungen mit hoher Genauigkeit, hoher Wiederholgenauigkeit und minimaler Verzerrung zu produzieren. Das verstellbare Linsensystem besteht aus drei separaten Linsenoptionen, die von 2X bis 10X reichen. Die Optik verwendet eine große Öffnung zur effizienten Erfassung von Lichtstrahlen, einen langen Arbeitsabstand von 13,5 mm zur Optimierung der Fokustiefe und Genauigkeit und eine mechanische Ausrichteinheit, die eine einfache Einstellung des Maskenhalters ermöglicht. Der Hauptlaserstrahlmonitor, der zur automatisierten Ausrichtung dient, ist eine zweiachsige Maschine mit einem Kippscanner und einem akustooptischen Strahlteiler. KARL RUß MA-200 wird von einem Hochgeschwindigkeits-Steuerprozessor betrieben, der Daten von bis zu 16 verschiedenen Bildern lesen, anzeigen und speichern kann. Der Prozessor steuert auch die Ausrichtungs- und Quellausrichtungssysteme, sodass der Benutzer vorherige Belichtungsläufe wiederholen und wiederholbare Ergebnisse sicherstellen kann. Darüber hinaus verfügt der Ausrichter über ein integriertes Expositions- und Positionierungsüberwachungswerkzeug, das die Belichtungszeit reduzieren und Überbelichtungen vermeiden kann. Die anfängliche Einrichtung von MA200 ist einfach und erfordert nur, dass der Benutzer die Parameter auswählt, die für die Belichtung und Ausrichtung verwendet werden. Dieses Gut kann programmiert werden, um mit Photolack, Lötmaske, Trockenfilmresist und vielen anderen Materialien verwendet zu werden. Darüber hinaus sind die Belichtungs- und Ausrichtungsprozesse mit mehreren Annäherungsarmen, mehreren Möglichkeiten der Belichtungssteuerung und ohne zusätzliche Werkzeuge, um optimale Ergebnisse zu erzielen, einfach zu konfigurieren. Insgesamt ist KARL RUß/MICROTEC MA-200 ein zuverlässiger und benutzerfreundlicher Maskenausrichter für die Mikroelektronik-Fertigung. Erfahrene Anwender dieser Maschine können von ihren automatisierten Ausrichtungs- und Indexierungsmöglichkeiten sowie dem flexiblen Ausrichtbereich und der einstellbaren Optik profitieren. Durch die einfache Konfiguration von Belichtungsparametern und wiederholten Belichtungsläufen ist dieses Tool eine kosteneffiziente und flexible Lösung für kleine bis mittlere Produktionsläufe sowie Forschungs- und Entwicklungsprojekte.
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