Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9373260 zu verkaufen

ID: 9373260
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Mask aligner, 8" Topside alignment Cassette to cassette Field proximity mask holder for corner masks, 9" With exposure area, 8" Vacuum chuck: Thermal proximity chuck, 8" Mask holder: 9" x 9" LH5000 Lamp house: 5000 Watts KARL SUSS CIC 5000 Power supply UV400 Optics (For 365nm and 405 nm exposure) With G-Line filter Objectives: 5x, 10x AL3000 Auto alignment system DVM8 Microscope JULABO Chiller Isolation table User manual 1000 Intensity meter with 365 and 435 nm probes 2000 vintage.
KARL RUß/MICROTEC MA 200 ist ein Maskenausrichter, der verwendet wird, um Muster genau zu positionieren und dann auf eine gewünschte Oberfläche zu übertragen, die Halbleitersubstrate oder Photomasken enthalten kann. Der Maske-Aligner ist in der Lage, Funktionen bis zu 0,2 Mikrometer auszurichten und hat die Fähigkeit, Funktionen zu überlagern und auszurichten, die in einigen Fällen mehrere hundert Mikrometer sind. Die Maschine ist unglaublich genau und effizient und ermöglicht eine sehr spezifische und wiederholbare Ausrichtung der Eigenschaften auf dem Substrat. Die Maschine selbst besteht aus einer XY-Stufe, einem vierachsigen Manipulator zum Ausrichten und Positionieren von Substrat und Maske sowie einem Hellfeld- und Dunkelfeldmikroskop mit einer Auflösung von mindestens 0,5 Mikrometern. Die Maschine enthält ein eingebautes Computersystem, das es dem Benutzer ermöglicht, Ausrichtpunkte zu programmieren und die Maschine zu steuern. Die programmierbaren Ausrichtungsmerkmale sind unglaublich präzise und ermöglichen eine breite Palette von Ausrichtungsoperationen wie Kreis zu Kreis, Rechteck zu Rechteck und Kreis zu Linie. Die Maschine umfasst auch eine Laserdiodenausrichtung, die mit einem Laser dem Benutzer Referenzpunkte zur exakten Ausrichtung von Maske und Substrat bereitstellt. Der Anwender von MICROTEC MA200 hat die Möglichkeit, alle vier Achsen der Maschine gleichzeitig und automatisch oder manuell die Position des Substrats und der Maske einzustellen. Der Benutzer hat auch die Möglichkeit, die Belichtung der Maschine entsprechend dem Substrat und der Vorrichtung einzustellen. KARL RUß MA-200 wird umfangreich in der Halbleiterindustrie eingesetzt, da es eine schnelle und genaue Möglichkeit bietet, Muster auf Substrate zu übertragen. Die Maschine ist schnell und effizient, so dass der Benutzer eine hohe Ausbeute und geringe Umlaufzeit bei gleichzeitiger Beibehaltung der hohen Genauigkeit und Präzision der Übertragung zu erreichen. Darüber hinaus ermöglicht die Laserdiodenausrichtung eine hohe Genauigkeit bei der Ausrichtung von Maske und Substrat, wodurch sichergestellt ist, dass die Übertragung von Mustern exakt und wiederholbar ist.
Es liegen noch keine Bewertungen vor