Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9381588 zu verkaufen

ID: 9381588
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1992
Mask aligner, 6"-8" 1992 vintage.
KARL RUß/MICROTEC MA 200 ist ein hochpräziser Masken-Aligner zur Herstellung von Mustern und Photolithographie in der Optoelektronik, IC, MEMs und Dünnschichtgeräten. Es verfügt über eine hochauflösende Stufe, um eine genaue Ausrichtung von Geräten mit Kontaktlöchern, Isolierelementen, Vias und sogar großen Schaltungen zu ermöglichen. Die optische Ausrüstung von MICROTEC MA200 verwendet ein beleuchtetes 4-Mikron-Retikel und einen schnell schrittweisen Galvo-Scanner, um eine präzise Auflösung von 1 µm zu erreichen. Die Lichtquelle ist eine Halogenlampe für schnelle Belichtungszeiten und ein gleichmäßiges Beleuchtungsfeld über das gesamte Substrat. Das gesammelte Licht wird durch einen Monochromator geleitet, der Umgebungslicht reduziert und eine gleichmäßige Frequenz über die Oberfläche der Probe gewährleistet. KARL RUß MA-200 verfügt über ein robustes Gehäuse aus Edelstahl und einen Raumtemperaturbereich von 15 ° C bis 25 ° C sowie einen Feuchtigkeitsbereich von 10% bis 80%. Es ist auch mit automatischem Wafer-Handling, einer motorisierten Tür, die den Zugang zu Substraten hilft, und einer vakuumdichten Kammer ausgestattet. Der Aligner enthält auch ein Autofokus-System, das die Höhen der Stellen einstellen kann, während Druck ausgeübt wird, um den Kontakt zwischen dem Substrat und dem Retikel aufrechtzuerhalten. Dies erleichtert die Erzielung einer höheren Genauigkeit, insbesondere bei der Ausrichtung kleiner geätzter Merkmale. Die schablonengestützten Maskierungsfunktionen von KARL RUß MA 200 ermöglichen ein schnelleres Umschalten zwischen verschiedenen Substraten oder Mustern ohne zusätzliche Werkzeuge. Es verfügt auch über eine integrierte spektroskopische Reflektometrie-Einheit, um die Dunkelheit und den Kontrast der Geräteeigenschaften zu überwachen, die bei der Abstimmung des Produktionszyklus unterstützt. Eine eingebaute Kommunikationsmaschine ermöglicht die Programmierung mit Standardschnittstellen wie Ethernet und RS-232. MA200 ist ein hochpräziser Maskenausrichter, der sich perfekt für die Produktion von IC, optoelektronischen, Dünnschichtgeräten und MEMs eignet. Die Hochleistungsoptik und das Autofokus-Werkzeug sorgen für eine perfekte Ausrichtung zwischen Substrat und Retikel. Es umfasst auch Template-unterstützte Maskierung, integrierte spektroskopische Reflektometrie und Kommunikationsmöglichkeiten. All diese Merkmale machen MICROTEC MA 200 zu einer idealen Option für die hochpräzise Geräteproduktion.
Es liegen noch keine Bewertungen vor