Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9394467 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 200 ist ein Maskenausrichter, mit dem photolithographische Muster auf Substratoberflächen, häufig auf Halbleiterscheiben oder Dünnschichtbauelementen, erzeugt werden. Das Instrument nutzt einen Mask-auf-Wafer-Ansatz, der die Maske hochpräzise auf den Wafer ausrichtet. MICROTEC MA200 bietet eine Vollfeldausrichtung, die eine genaue und wiederholbare Strukturierung auf dem Substrat gewährleistet. KARL RUß MA-200 verfügt über eine XY Theta-Bühne und einen 6-achsigen kinematischen Maskenhalter, der eine exakte und wiederholbare Positionierung und Ausrichtung der Maske mit dem Wafer gewährleistet. Die Antriebsausrüstung der Maschine verfügt über Hochgeschwindigkeitsservos und hochpräzise Linearlager, die eine schnelle und wiederholbare schrittweise Ausrichtung und Belichtung ermöglichen. MA-200 verfügt auch über ein ausgeklügeltes Beleuchtungssystem, das LEDs verwendet, um Belichtungslicht verschiedener Wellenlängen zu erzeugen und eine präzise Belichtungssteuerung zu ermöglichen. Das Optikpaket von KARL RUß/MICROTEC MA200 verfügt über austauschbare Objektive, die eine effiziente Skalierung von Mustern ermöglichen. Die Belichtungseinheit verwendet eine Pupillenrelaisoptik zwischen der Maske und dem Wafer, um eine genaue Bildgebung zu gewährleisten, während das optische Betrachtungspaket eine Schrittvergrößerung und Echtzeitinspektion bietet. Die Maschine ist auf Flexibilität ausgelegt und kann eine breite Palette von Masken und Substraten mit einer breiten Palette von Layoutarten akzeptieren. KARL RUß MA200 verfügt über modernste Steuerungssoftware, die eine flexible, benutzerfreundliche Bedienung mit Programmierfunktionen und Unterstützung für mehrere Substrate ermöglicht. Die Software ermöglicht auch Prozessoptimierung und Parameterentwicklung. Die Temperaturregelmaschine der Maschine hält eine konstante Umgebungstemperatur mit der Fähigkeit, den Wafer vor, während und nach der Belichtung zu erwärmen oder zu kühlen. Darüber hinaus ist MA 200 in der Lage, Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll zu handhaben und kann eine Belichtungsfläche von bis zu 5,5 Zoll erreichen. Die Maschine verfügt auch über ein modernes Wafer-Handhabungswerkzeug, das über eine automatisierte Nassverarbeitung verfügt, um den Fotolack vor der Belichtung zu reinigen und zu erhalten. KARL RUß MA 200 ist für einfache Wartung mit seinem modularen Aufbau und einem umfassenden Satz von Selbstüberwachungsfunktionen gebaut.