Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA-210 AA #293654297 zu verkaufen

KARL SUSS / MICROTEC MA-210 AA
ID: 293654297
Mask aligner.
KARL RUß/MICROTEC MA-210 AA Maske Aligner ist ein High-End-Instrument, das bei der Lithographie verschiedener elektronischer Geräte eingesetzt wird. Es wird zur Herstellung von Photomasken verwendet, mit denen hochpräzise Muster auf Halbleiterscheiben erzeugt werden. MICROTEC MA-210 AA Mask Aligner hat zwei Hauptkomponenten: eine UV-Projektionsausrüstung und eine zweidimensionale (XY) Bühne. Das UV-Projektionssystem umfasst einen optischen DUV-Ellipsoidreflektor, eine Stromversorgungseinheit und einen abgedichteten UV-Excimerlaser. Der Laser erzeugt ein Licht von 248 Nanometer Wellenlänge, das durch den Reflektor kollimiert wird, wodurch ein exaktes Bild der Photomaske erzeugt wird, das auf eine gewünschte Waferschicht projiziert werden kann. Die Bildgröße liegt zwischen 0,25 mm und 12 mm bei einer Auflösung von 0,25 μ m. Ein Mikroskop ist auch enthalten, bietet 10x bis 50x Vergrößerung für eine hochgenaue Ausrichtung der Maske und Waferschichten. Die XY-Stufe von KARL RUß MA-210 AA Mask Aligner wird von einem Gleichstrommotor angetrieben und bietet drei manuelle/automatische Betriebsarten. Im manuellen Modus kann die Bühne manuell mit einem Joystick und einem digitalen Display gesteuert werden und bietet eine Genauigkeit von bis zu 0,2 mm. Im Automatikmodus kann die Bühne für verschiedene Aufträge programmiert werden, mit einer Wiederholbarkeit und Genauigkeit von 0,1 mm. Zur hochpräzisen Ausrichtung der Masken- und Waferschichten steht auch eine Overlay-Messeinheit mit reflektiertem Laserlicht zur Detektion zur Verfügung. MA-210 AA Mask Aligner ist mit einer automatischen Waferausrichtmaschine mit drei elektronisch modulierbaren V-Nut-Systemen ausgestattet. Ein integriertes Waferhebewerkzeug ermöglicht ein effizientes Be- und Entladen von bis zu 200 Wafern mit einem Durchmesser bis 200 mm und bietet eine hohe Effizienz und Produktivität im Lithographieprozess. KARL RUß/MICROTEC MA-210 AA Maske Aligner verfügt über eine programmierbare Computerschnittstelle, die eine Softwaresteuerung aller Aspekte des Aligners ermöglicht, einschließlich Laserleistungs- und Detektorsignale. Es enthält eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie einen Verschluss für die UV-optische Anlage, sowie ein Verriegelungsmodell zur Verhinderung der unbefugten Nutzung des Ausrichters. Zusammenfassend ist MICROTEC MA-210 AA Mask Aligner ein fortschrittliches Werkzeug zur Erstellung hochpräziser Photomasken, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Es verfügt über eine fortschrittliche UV-Projektionsausrüstung, eine zweidimensionale XY-Bühne, ein automatisches Waferausrichtungssystem und eine programmierbare Computerschnittstelle. KARL RUß MA-210 AA Mask Aligner können durch Reproduzierbarkeit und Genauigkeit sowie durch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen zur erfolgreichen Herstellung von Halbleiterbauelementen beitragen.
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