Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #9382957 zu verkaufen

KARL SUSS / MICROTEC MA 24
ID: 9382957
Weinlese: 1993
Mask aligner 1993 vintage.
KARL RUß/MICROTEC MA 24 ist ein fortschrittlicher Maskenausrichter, der in Halbleiterherstellungsprozessen eingesetzt wird. Mit diesem Werkzeug können lithographische Muster mittels EBRs (Electritically Blanked Resistors) und Laserlicht auf eine Maske und/oder auf den Wafer aufgedruckt werden. Die Maschine verfügt über eine hochpräzise zweiachsige Koordinatentabelle, von der eine Achse verwendet wird, um die Maske zusammen mit einem Aluminium-Vakuumfutter zu drehen. Der Tisch kann Geschwindigkeiten bis zu 400 U/min und Wiederholbarkeit bis zu 5 Mikrometer erreichen. Es verfügt auch über einen Hochleistungs-Laserstrahlteiler, der mehr Genauigkeit im Ausrichtungsprozess ermöglicht, und es ist in der Lage, Schrittgrößen bis zu 1,5 Mikrometer auszurichten. Der Ausrichtungsprozess von MICROTEC MA 24 ist hochautomatisiert. Der Laser wird verwendet, um die Position der Maske zu erfassen und die Ausrichtungsgenauigkeiten werden mit zwei optischen Sensoren erreicht. Dadurch ergibt sich eine hohe Genauigkeit der Ausrichtung der Maske und des Wafers. Die Lasermarkendetektion dient auch zur Ausrichtung mehrerer Schichten in einem Verfahren. Da die Maschine ein hochpräzises Instrument ist, erfordert sie weniger menschliche Überwachung als andere ähnliche Ausrichter, was sie viel effizienter in Bezug auf Zeit und Geld macht. Darüber hinaus produziert es kein Ozon, was es sicher zu verwenden macht. KARL RUß MA 24 verfügt über einen Host-Computer, der mit jeder Lithographie verknüpft werden kann. Es bietet den Benutzern auch einen umfassenden Datenbericht über die Ausrichtungen, so dass sie ihre Operationen besser steuern können. Abschließend ist MA 24 ein fortschrittlicher Masken-Aligner, der hochpräzise und effizient ist. Es bietet eine Vielzahl von Funktionen, darunter hohe Genauigkeit, minimale menschliche Überwachung, sichere Bedienung und einen umfassenden Datenbericht. Es ist eine gute Wahl für Halbleiterherstellungen, wie sie in der Elektronikindustrie verwendet werden.
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