Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 4/6 #293828140 zu verkaufen

ID: 293828140
Mask aligner BSA.
KARL RUß/MICROTEC MA 4/6 ist ein Maskenausrichter, der Präzisionsausrichtung mit fortschrittlichen Prozesssteuerungen für Rapid Application Prototyping, Kleinserienfertigung und Forschung und Entwicklung kombiniert. Dieser mechanische, hochpräzise Maskenausrichter hat eine Positioniergenauigkeit von besser als 1 Mikron und ist in der Lage, sich großflächig hervorragend zu registrieren. Es hat auch eine 8X8-Zoll-Feldgröße, so dass es für große Musteranwendungen geeignet ist. MICROTEC MA 4/6 verfügt über RUß MICROTEC X-Y-Theta Alignment Equipment (XYT), das unabhängige X-, Y- und Theta-Motoren mit digitalen Positionsanzeigen kombiniert. Dies ermöglicht eine präzise und wiederholbare Ausrichtung mehrerer Masken und reduziert die Ausrichtungszeit ohne Kompromisse bei der Auflösung. Das XYT-System bietet sowohl automatisierte als auch manuelle Ausrichtungsmodi und ermöglicht einen direkten Vergleich zwischen zwei Bildern zur Feinabstimmung. KARL RUß MA 4/6 ist in der Lage, bis zu sechs Wafer mit der Möglichkeit, verschiedene Wafergrößen von 2 bis 8 Zoll im Durchmesser zu verwenden. Es verfügt über eine verstellbare Wafer-Klemmeinheit und einen Wafer-Lader-Shuttle zum schnellen Be- und Entladen. Der Wafer-Wagen ist für einfaches Maskenbeladen und -austausch ausgelegt, ohne die Genauigkeit oder Wiederholbarkeit zu beeinträchtigen. MA 4/6 ist für kritische photolithographische Anwendungen konzipiert. Es verfügt über eine He-Ne-Laserausrichtmaschine mit einem eingebauten Mikroskop, das sowohl die automatische Ausrichtung der Masken als auch die automatische Fokussierung der Maske auf den Wafer ermöglicht. Dies gewährleistet höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit, während die automatische Indexierung den Wechsel von Datensätzen erleichtert. KARL RUß/MICROTEC MA 4/6 verfügt über mehrere Steuerungsfunktionen wie Belichtungswiederholbarkeit, hohe Transparenz und Kantenplatzierungsgenauigkeit von besser als 1 Mikron sowie Hebefähigkeiten von mehr als 50 Mikrometern. Zur Prozesssteuerung umfasst es ein erweitertes Prozesssteuerungswerkzeug mit sechs variablen Parametern einschließlich Belichtung und Ätzzeit. Die benutzerfreundliche Software bietet zudem Flexibilität und Funktionen wie automatische Daten, Maskenbibliothek, Rezepteinstellung und Rückverfolgbarkeit von Wafern. Abschließend ist MICROTEC MA 4/6 ein hochpräziser Maskenausrichter, der eine hervorragende Registrierung und effiziente Verarbeitung für Rapid Prototyping sowie Forschung und Entwicklung ermöglicht. Das fortschrittliche Design und die Ausrichtung sowie die benutzerfreundliche Software machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Photolithographie-Anwendungen.
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