Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 4/6 #9249041 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 4/6 ist ein Maskenausrichter, der zur Ausrichtung von Lithographiemasken mit photoresistbedeckten Wafern verwendet wird, um Muster auf dem Wafer zu erzeugen. MICROTEC MA 4/6 wurde speziell entwickelt, um die Produktion von integrierten Schaltungen (ICs) in hoher Stückzahl zuverlässig, präzise und reproduzierbar zu machen. Die Ausrüstung verwendet hochpräzise und automatisierte Ausrichtungstechniken, um Masken für die Strukturierung von ICs genau zu manipulieren und zu positionieren. KARL RUß MA 4/6 mask aligner hat fünf Hauptkomponenten: einen Wafertisch, einen Maskentisch, ein Paar optische Encoder, ein Sicht- und Inspektionssystem und eine Steuereinheit. Der Wafer-Tisch ist für die Aufnahme des Wafers ausgelegt und mit pneumatisch angetriebenen Vakuumbechern ausgestattet, um den Wafer zu sichern und in der X-, Y- und Z-Achse zu manövrieren. Der Maskentisch ist für die Aufnahme der Maske ausgelegt und enthält einen integrierten, automatisierten Maskenlader. Die optischen Encoder helfen dabei, die Bewegung und Ausrichtung des Wafers und der Maske zueinander genau zu messen. Die Sicht- und Inspektionseinheit sorgt dafür, dass die Integrität von Maske und Wafer erhalten bleibt und die Strukturierung ordnungsgemäß durchgeführt wird. Schließlich stellt das Steuergerät die Hardware und Software zur Verfügung, um die Wafer- und Maskentabellen auf die genaue Positionierung anzuweisen. MA 4/6 Maske Aligner verfügt über eine kalibrierte Ausrichtungsgenauigkeit von bis zu 10 Mikrometer (µm), so dass es für Nanometer-Skala-Präzision geeignet. Ferner wird die Ausrichtgenauigkeit mit einer Dreipunkt-Kalibriermaschine zur optimalen Ausrichtung eingestellt. Dieses Dreipunkt-Kalibrierwerkzeug verwendet drei Markierungen, die permanente Markierungen auf dem Wafer sind, um die Maske zu referenzieren, um eine unabhängige Ausrichtung in der X- und Y-Achse zu ermöglichen. Darüber hinaus verfügt die Anlage über ein integriertes Wafer-Inspektionsmodell, das die Wafer vor und nach der Exposition überprüft. Diese Inspektion wird auf dem Bildschirm des Steuergeräts gezeigt und bietet Zugriff auf eine Vielzahl von Parametern, um die reproduzierbare Genauigkeit zu überprüfen. Zusätzlich verfügt der KARL RUß MA 4/6 Maskenausrichter über eine intuitive, Icon-gesteuerte intuitive Benutzeroberfläche, die die Bedienung und Einrichtung auch für Erstbenutzer vereinfacht. Es gibt sogar eine CAD-Schnittstelle (Computer Aided Design), mit der Muster vom IC-Layout auf den Wafer übertragen werden. Dieses Programm ist auch anpassbar und programmierbar, so dass eine maßgeschneiderte Bedienung nach Benutzerspezifikationen. Weitere Merkmale von MA 4/6 Maske Aligner umfassen erweiterte Bildverarbeitung, niedrige Betriebskosten und einen geringen Platzbedarf. Dieser Masken-Aligner eignet sich sowohl für kleine als auch für große Produktionsläufe und wurde entwickelt, um die Produktion von ICs in hoher Stückzahl präzise, zuverlässig und reproduzierbar zu machen. Mit seiner intuitiven Benutzeroberfläche, programmierten Funktionen und ausgefeilter Ausrichtgenauigkeit kann KARL RUß/MICROTEC MA 4/6 Maskenausrichter zuverlässig und sogar von Erstanwendern eingesetzt werden.