Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 4 Series III BSA #293639816 zu verkaufen
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ID: 293639816
Wafergröße: 4"
Mask aligner, 4"
Lamphouse: 1000 Watt
Wafer chuck: Configured for 2"
Optics: 365nm (NUV)
CIC Power supply: CIC 500 constant intensity controller.
KARL RUß/MICROTEC MA 4 Series III BSA ist ein hochpräziser Maskenausrichter für den Einsatz in fortschrittlichen Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Das Gerät verfügt über eine einheitliche Oberflächenoptik mit einem Quarzmaskenrohling für höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Es ist in der Lage, Wafer bis zu 200mm (größer auf spezieller Auftragsbasis) aufzunehmen und kann Substrate bis zu 40mm dick belichten. MICROTEC MA 4 Series III BSA ist mit einer kalibrierten Nanometerstufe ausgestattet, die ein einzigartiges X-Y- θ Triple-Alignment-System verwendet, um sowohl den Winkel als auch die X-Y-Position des Wafers oder Maskenrohlings genau zu steuern. Der vier Punkte obere und untere Kontaktmechanismus sorgt dafür, dass die optische Belichtung über den gesamten Belichtungsbereich zentriert und konsistent ist. Dieses Gerät verfügt auch über eine einzigartige Luftströmungseinheit, die vier Diffusionskammern verwendet, um Luftturbulenzen und Temperaturschwankungen während der Exposition zu reduzieren, wodurch höhere Expositionsdosen, verringerter Flächenwiderstand und verbesserte Erträge ermöglicht werden. Darüber hinaus wurde die Maschine entwickelt, um das Risiko einer Kontamination mit fortschrittlicher Flüssigkeits- und Partikelentfernungstechnologie zu reduzieren. Dies trägt zur Gewährleistung von Qualität und Genauigkeit sowie zur Verringerung des Stromüberschusses bei. KARL RUß MA 4 Series III BSA verfügt auch über ein modernes optisches Werkzeug zur Verbesserung der Ausrichtgenauigkeit. Es verfügt über ein lasergemustertes Retikel für hohe Genauigkeit Mustererkennung und doppelseitige Belichtung für Ober- und Unterseite Belichtung. Es hat auch eine vierachsige Belichtungsfähigkeit und ist mit fortschrittlichen optischen Filtern für verbesserte Leistung ausgestattet. Die Anlage ist auch mit Blick auf die Sicherheit konzipiert. Es ist mit Sicherheitsverriegelungen ausgestattet, um zu verhindern, dass Benutzer gefährliche Bereiche wie die Expositionskammer während des Betriebs betreten, sowie akustische und visuelle Alarme, um Benutzer auf mögliche Gefahren oder Expositionsprobleme aufmerksam zu machen. MA 4 Series III BSA wurde entwickelt, um eine fachkundige, präzise Maskenausrichtung für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung bereitzustellen. Es verfügt über fortschrittliche Optik- und Kalibriertechnologien für gleichbleibend genaue Belichtungen sowie ein verschmutzungsbeständiges Luftstrommodell, das Verunreinigungen vorbeugt. Es verfügt auch über Sicherheitsverriegelungen und Alarme für maximale Sicherheit und Schutz.
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