Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #9159265 zu verkaufen

ID: 9159265
Wafergröße: 4"
Mask aligner, 4".
KARL RUß/MICROTEC MA 45 mask aligner ist eine spezialisierte Ausrüstung zum präzisen Ausrichten oder „Belichten“ von Schichtfotomasken auf Substraten wie Wafern. Der Aligner führt das erste Scannen und automatische Ausrichten des gesamten Wafers durch, bevor jede getrennte Maske und Schicht der Maske freigelegt wird. Durch den Einsatz eines automatisierten laserbasierten Abtastsystems kann die Ausrichtgenauigkeit bei längeren Läufen ohne erneute Ausrichtung der Maske aufrechterhalten werden. Damit eignet sich das Gerät hervorragend für industrielle Anwendungen sowie Forschungs- und Entwicklungsprozesse. MICROTEC MA 45 Maske Aligner besteht aus einer Stufe, die das Substrat hält (in der Regel ein Wafer) und eine „Platte“, wo die Photomasken platziert werden. Die optische Maschine des Aligners ist über Maske und Substrat montiert. Um jede Ebene oder Maske freizulegen, richtet dieses optische Werkzeug die Maske präzise über dem Wafer aus. Die Ausrichtung erfolgt typischerweise mit einer Genauigkeit von etwa einem Mikrometer. KARL RUß MA-45 Maske Aligner nutzt eine helle Quelle von UV-Licht für die Belichtung jeder Schicht der Maske. Das Licht wird durch die Photomaske und dann auf den Wafer projiziert. Es folgt die Anwendung eines Entwicklers. Der Entwickler wird verwendet, um das unerwünschte Photolackmaterial aus dem Bereich des dem UV-Licht ausgesetzten Wafers zu entfernen, wobei das gewünschte Bild oder Muster zurückbleibt. Das Asset der Maske aligner besteht aus mehreren Modulen, die individuell für bestimmte Anwendungen konfiguriert werden können. Diese Module bieten Schrittmotorsteuerung, Laser-Spotting, Bildgebung, optische Ausrichtung und Wafer-Fixierfunktionen. Die Maske kann in einem Batch-Modus oder einem Wafer gleichzeitig belichtet werden. Das optische Projektionsmodell des Aligners besteht aus einer telezentrischen Objektiv- und digitalen Bildanalyseeinheit. Das Mikroskop umfasst auch ein Diodenarray und eine CCD-Kamera mit einer Schnittstelle, die die Aufnahme des Maskenbildes ermöglicht, um die Ausrichtungsgenauigkeit zu messen und zu bestimmen. MA-45 Masken-Aligner ist eine hochpräzise Ausrüstung zum Ausrichten und Belichten von Schichtfotomasken auf Wafern. Die automatisierte Ausrichtungsmechanik und das beleuchtete optische System ermöglichen eine genaue und effiziente Ausrichtung mehrerer Masken in einem einzigen Lauf und sind somit eine gute Wahl für Industrie- und Forschungseinstellungen. Der modulare Aufbau des Geräts macht es zudem an viele verschiedene Anwendungen anpassbar.
Es liegen noch keine Bewertungen vor