Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #9221606 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 45 ist ein anspruchsvoller Maskenausrichter, der eine hochpräzise Ausrichtung zwischen einer Musteranordnung auf einer Maske und Oberflächenmerkmalen auf einem Substrat bietet. Es ist ein Kontaktausrichter, der eine Kombination aus mechanischen und optischen Sensoren verwendet, um eine präzise Passung zwischen dem Muster und dem Substrat zu gewährleisten. MICROTEC MA 45 verwendet automatisierte Kalibrierungen, um die Auswahl und Ausrichtung von Aufträgen zu vereinfachen, den Durchsatz deutlich zu erhöhen und die Rüstzeit zu reduzieren. KARL RUß MA-45 besteht aus einem Maschinengehäuse und einer Kameramontage sowie einer Vakuumfutter-montierten Waferbühne. Die Ausrüstung ist mit vier Ausrichtungssichtsystemen ausgestattet - zwei für Grobausrichtung und zwei für Feinausrichtung. Zur Erfassung der Bilddaten von Muster- und Waferoberflächen wird eine Einzelstrahl-Abtasteinheit verwendet. Diese Daten werden in Software verarbeitet, um Parameter für die Ausrichtung zu generieren, so dass das System Registrierungsgenauigkeiten von bis zu 2 Mikrometer erreichen kann. KARL RUß MA 45 ist mit mehreren Belichtungsfunktionen konzipiert, um einen umfassenden Zugang und eine umfassende Abdeckung des Wafersubstrats zu ermöglichen. Es ist mit mehreren verschiedenen Arten von Projektionsoptiken ausgestattet, für die Verwendung mit verschiedenen Mustern und Funktionen. Es kann auch mit mehreren Quellenhaltern ausgestattet werden, so dass eine Vielzahl von Maskenformaten behandelt werden können. Das Gerät verfügt über ein ergonomisches Design, mit dem Bediener alle Vorgänge verwalten und Prozessdaten von einer einzigen Konsole aus überprüfen können. Es wird von einer Linux-basierten Bedienmaschine gesteuert und kann mit RUß MICROTEC Software-Tools verbunden werden, so dass Ingenieure Jobs speichern, Belichtungsergebnisse überwachen und Parameter nach Bedarf anpassen können. Darüber hinaus kann KARL RUß/MICROTEC MA-45 in eine breite Palette weiterer Geräte integriert werden und ist mit automatisierten Material- und Ressourcenhandlingsystemen kompatibel. So können Anwender komplette Produktionssysteme für eine effiziente Automatisierung sowie kostengünstige und zuverlässige Produktionsabläufe erstellen.