Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 56 / MJB55 #9136941 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 56/ MJB55 ist ein Maskenausrichtgerät, das speziell für die genaue Strukturierung und Ausrichtung von Mikrokomponenten entwickelt wurde. Die MA 56 hält das Substrat in einem genau gesteuerten vakuumkompatiblen Spannfutter, während die MJB55 ein zweistufiges Ausricht- und x-y-z-Positioniersystem ist, das alle Mikroausrichtungs- und Positionierungsfunktionen ausführt. Zusammen liefern sie extrem hohe Genauigkeit und wiederholbare Ergebnisse für alle Maskierungs- und Photolithographieschritte, die in der fortschrittlichen mikroelektronischen Chipherstellung verwendet werden. Die MA 56 nutzt eine hochpräzise Stufe für flache Substratausrichtung und Strukturierung und ist in der Lage, Genauigkeit im Bereich von 0,1 Mikron (100 Nanometer) in X-, Y- und Z-Richtung zu liefern. Die Bühne hat einen Fahrbereich von 400 x 400mm (15,7 "x15,7"), mit einer Genauigkeit von +/-2um (0,08 "). Der Kopf ist auf einer uniaxialen Neigungswinkelstufe, genau auf +/-10 Bogensekunde, und einer 360 Grad kontinuierlichen Drehstufe montiert. Die MJB 55 ist eine stufengesteuerte Maskenausrichteinheit mit 6-Achsen (x-y-z, θ x, θ y und θ z). Es hat einen Verfahrbereich von 70 x 70mm (2,75 "x2,75"), mit einer Positioniergenauigkeit von +/- 2um (0,08 ") und ist bis zu 2 deg/s Drehzahl fähig. Es ist auch für 3K-Geschwindigkeitsabtastung geeignet und eignet sich für Sub-Mikron-Genauigkeit. Die MA 56 und MJB 55 verarbeiten eine breite Palette von Maskengrößen von 4 „x 4“ bis 12 „x 12“ und sind sowohl mit Standard-Fotobildplatten als auch mit Substraten kompatibel. Die Maschine verfügt auch über eine Vielzahl von Funktionen, um eine hohe Genauigkeit zu gewährleisten, einschließlich der automatischen Spalterkennung, um eine Substratparallelität zu gewährleisten, sowie einen selbstausrichtenden Schritt und eine Wiederholungsroutine. MICROTEC MA 56/ MJB55 ist das ideale Werkzeug für die Durchführung aller Maskierungs- und Photolithographieschritte, die für die fortschrittliche IC-Herstellung erforderlich sind. Es liefert genaue und wiederholbare Ergebnisse, und seine breite Palette von Funktionen und Fähigkeiten machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Chiphersteller, die eine hochpräzise Musterung und Ausrichtung ihrer Mikrokomponenten suchen.