Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293740285 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 56 ist ein modernes Maskenausrichtwerkzeug, das im Halbleiterherstellungsprozess eingesetzt wird. Es besteht aus drei Hauptkomponenten: der Ausrichtausrüstung, dem Aktuator und dem Mikromanipulatorsystem. Die Ausrichtungseinheit verwendet dual optische Tele-Reader, um die Ausrichtungsmarken sowohl auf der Maske als auch auf dem Wafer zu erkennen. Sie erzeugt dann einen Referenzversatz zwischen den beiden, der auf der Genauigkeit der optischen Tele-Reader beruht. Der Aktuator wird verwendet, um Maske und Wafer in ihre relativen Positionen zu bewegen und dort zu halten. Die Mikromanipulatormaschine besteht aus Manipulatoren, die Maske und Wafer in einen Bezugsrahmen bewegen und dort festhalten. Die tatsächliche KE-Größe wird durch die zum Drucken auf den Wafer verwendete Maske bestimmt, und diese KE-Größe bestimmt auch die vom Ausrichtwerkzeug erwartete Genauigkeit. Mit diesem speziellen Werkzeug wird die Ausrichtungsgenauigkeit mit 1 Mikron oder kleiner angegeben, was es für eine Vielzahl von Geräten geeignet macht, die von Hochleistungs-HF, analogen und digitalen Geräten reichen. Der Aktuator hat eine Wiederholbarkeit, die mit 1,5 Mikrometer angegeben wird, so dass er für Geräte mit Linienbreiten von 5 Mikrometer bis 25 Mikrometer geeignet ist. Der Mask Aligner enthält auch eine Beleuchtungskomponente mit einer 7x spektralen Flutlampe, die eine korrekte Belichtung der Photolackschicht auf dem Wafer gewährleistet. Das Licht ist speziell auf die verwendete Maske zugeschnitten und hat eine homogene Strahlintensität. Dieser enge Lichtstrahl ermöglicht es dem Werkzeug, die Genauigkeit von sub 0,5 Mikron mit dem Ausrichtungsmodell zu erreichen. MICROTEC MA56 umfasst auch Reinigungs- und Trocknungsmöglichkeiten für Wafer, einschließlich Messtechnik. Es hat volle Kassette-zu-Kassette Vakuum-Betrieb und verfügt über eine wählbare Z-Achse wischen. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit automatisierten Testfunktionen, Umweltkontrolle bis zu 40C, Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle, Lichtschadenschutz und Warm-/Kaltfutter-Steuerung ausgestattet. Insgesamt ist KARL RUß MA-56 ein hochgenaues und zuverlässiges Maskenausrichtwerkzeug. Seine hochmodernen Komponenten sorgen dafür, dass er alle Arten von Anwendungen von Hochleistungs-HF-Geräten bis hin zu digitalen Designs bewältigen kann. Zusätzlich macht die Fähigkeit, Oblaten, sowie eine automatisierte Testfähigkeit zu reinigen und auszutrocknen, KARL SUSS / MICROTEC MA 56 ein wesentliches Werkzeug für fortgeschrittene Halbleiterherstellungsprozesse.