Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293818127 zu verkaufen
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ID: 293818127
Mask aligner
Substrate size: 2.5" × 2.5"
UV400 Optical system
Lamp, 500 W
Operation modes: Soft contact and hard contact
LPS 1000/CIC 500 Power supply unit
Сontrol panel/console
Manual.
KARL RUß/MICROTEC MA 56 ist ein automatisierter Maskenausrichter zur Herstellung mikroelektromekanischer Systeme (MEMS). Es ist ein Maskenprojektionssystem, das integrierte Optik, automatisierte Wafer-Staging und Mehrzonen-Heizung und Kühlung verwendet. Es bietet eine präzise, zuverlässige Möglichkeit, Muster auf ein Siliziumsubstrat zu skizzieren und zu übertragen. Das System ist mit einem digitalen Maskenmustergenerator und einer Hochgeschwindigkeitsobjektivlinse ausgestattet, die in der Lage ist, Muster mit einer minimalen Linienbreite von 90 nm und einem minimalen Linienabstand von 180 nm zu erzeugen. MICROTEC MA56 ist in der Lage, eine breite Palette von Mustern mit einer Auflösung von bis zu 0,5 µm zu produzieren. Es verfügt außerdem über eine 3𝛍 X-, Y- und θΩ-Waferbühne zur präzisen Positionierung und Orientierung von Wafern während der Ausrichtung. KARL RUß MA-56 verfügt zudem über eine hochwertige Lichtquelle, die eine höhere Helligkeit und Gleichmäßigkeit bietet als herkömmliche Lichtbogenquellen. Dies gewährleistet eine präzise Ausrichtung und Musterübertragung auf ein Substrat. Das optische Design von KARL RUß/MICROTEC MA-56 umfasst mehrere hohe numerische Blendenobjektive und ermöglicht eine halbautomatische Fokussierung und Neuausrichtung. Alle Muster werden über eine stabile, schwingungskompensierte optische Box auf ein Substrat projiziert. MICROTEC MA 56 bietet eine breite Palette von Funktionen für die automatisierte, hochpräzise Ausrichtung. Es verfügt über automatisierte Waferbeladung, Mehrzonenheizung und Kühlung, digitale Steuerung der Ausrichtungsgenauigkeit und vollen Zugriff auf die Prozessparameter. Es verfügt auch über Zwei-Punkt-Registrierung und lokale Registrierung für komplexe Wafer Geometrien. MA-56 ist ideal für die hochpräzise, großflächige Fertigung von MEM-Systemen. Es bietet eine präzise, wiederholbare Möglichkeit der Ausrichtung und Übertragung von Mustern auf ein Substrat, bei präziser und präziser Registrierung. Die umfassende Software-Suite bietet einen einfach zu bedienenden und flexiblen Mechanismus zur Steuerung aller Parameter, der eine zuverlässige Ausrichtung und Wiederholbarkeit gewährleistet. MA56 ist eine hochwertige, kostengünstige Möglichkeit, hochpräzise Masken mit einem präzisen, konsistenten Ergebnis herzustellen.
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