Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9116712 zu verkaufen
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ID: 9116712
Wafergröße: 4"
Top sided mask aligner, 4"
(4) Coll wafers
Automatic wafer transfer
Set up for deep UV.
KARL RUß/MICROTEC MA 56 ist ein Maskenausrichter von RUß MICROTEC. Es ist eine praktische und vielseitige Lösung für die genaue Ausrichtung von großen oder kleinen Substraten für mikroelektronische Produktionsanwendungen. MICROTEC MA56 verfügt über eine proprietäre aktive Stabilisierungstechnologie, die unabhängig von den Umgebungsbedingungen Ergebnisse mit einer Genauigkeit von bis zu 4 μ m (± 2 μ m) liefert. Darüber hinaus sorgen die selbstjustierenden optisch-mechanischen Systeme für hohe Durchsatzleistung bei Vollwafer-Ausrichtvorgang in weniger als 5 Minuten. Die Benutzeroberfläche von KARL RUß MA-56 nutzt eine intuitive, Windows-basierte grafische Benutzeroberfläche (GUI), die Anwendern eine benutzerfreundliche Möglichkeit bietet, den Betrieb des Maskenausrichters zu steuern. Die fortschrittliche Steuerungsausrüstung von KARL RUß/MICROTEC MA-56 ermöglicht auch die Übertragung und Speicherung von Daten zur weiteren Analyse und Interpretation. MA-56 integriert einen automatisierten Lader zum Durchlaufen von Masken von der Kassette in den Belichtungsbereich durch einen Roboterarm. Der Masken-Aligner kann sowohl manuelle Wafer-Ausrichtungsmodelle, wie das Standard-manuelle Wafer-Nivelliersystem mit vier verstellbaren Schrauben, als auch die Auto-Ausrichtungseinheit mit seiner innovativen elektromechanischen Kassetten-Nivelliermaschine aufnehmen. MA56 ist mit einer langlebigen Quecksilberlampe, einem hochpräzisen optischen Bildgebungswerkzeug und der erweiterten Modulationsübertragungsfunktion (MTF) ausgestattet, die einen höheren Durchsatz bei niedrigen Dosierungen ermöglichen. Die eingebaute Software des Aligners ist für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet und bietet dem Anwender die Möglichkeit, die Behandlung von lithographischen Mustern zu optimieren, um hohe Erträge zu erzielen. MA 56 kann verschiedene Substratgrößen von bis zu 200 cm ² verwenden und bietet eine hohe Genauigkeit sowie die Fähigkeit, Umweltfaktoren wie Temperatur oder Feuchtigkeit zu kompensieren. Die Maske aligner unterstützt auch eine Vielzahl von Sprachen, die es für den weltweiten Markt geeignet macht. Insgesamt ist MICROTEC MA 56 ein zuverlässiger Maskenausrichter, der in kurzer Zeit mit unübertroffener Präzision präzise Ergebnisse liefert. Es ist eine vielseitige und praktische Lösung, die für viele Mikroelektronik-Einrichtungen rentabel ist.
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