Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9124210 zu verkaufen
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ID: 9124210
Wafergröße: 5"
Mask aligner, 5"
Resolution: 3 µm (proximity) 0.8-1µm (vacuum contact)
Capable of hard contact
Soft contact
Proximity exposure modes
350 Watt CIC500 power supply
Splitfield microscope.
KARL RUß/MICROTEC MA 56 ist ein Maskenausrichter, der für photolithographische Anwendungen verwendet wird. Es verfügt über eine dreiachsige automatisierte Stufe, die eine gleichzeitige Ausrichtung der Masken und Substrate ermöglicht und somit für hochpräzise Anwendungen geeignet ist. Das Gerät ist kompakt und leicht und ermöglicht eine einfache Portabilität zwischen Produktionsstandorten und Laboren. MICROTEC MA56 ist über eine benutzerfreundliche Software mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche (GUI) und geführten Hilfemenüs programmierbar. Die GUI ermöglicht es Benutzern, einfach relevante Parameter auszuwählen und den gewünschten Parametersatz genau einzurichten. KARL RUß MA-56 verfügt über zwei Kameras, eine für die Erzeugung von Bildfeldern und eine für die Ausrichtung der Masken und Substrate. MA 56 verfügt über ein patentiertes Punktlasersystem, das kleine Unvollkommenheiten in den Masken erkennen kann und eine hohe Genauigkeit der Ausrichtung und Integration von Mustern von einzelnen Mikrostrukturen bis zu 25 mm ermöglicht. Die offene Architektur ermöglicht eine einfache Integration mit anderen Komponenten eines Produktionsprozesses, einschließlich Masken- und Wafer-Handling-Systemen. Die Einheit ist so konzipiert, dass sie maximale Bildqualität bietet, mit zwei verschiedenen Linsen für unterschiedliche Wellenlängenbereiche; UV und DUV. Für den UV-Einsatz ist ein NA von 0,4 zum gleichmäßigen Be- und Entladen von Substraten bis 150 mm Durchmesser vorgesehen. Diese Linsen sind auch mit Sekundäroptiken kompatibel, die eine Vergrößerung und Verbesserung der Genauigkeit ermöglichen. KARL RUß/MICROTEC MA56 unterstützt sowohl Standard-Dünnschichtabscheidungssysteme als auch fortschrittliche GaAs-Ätzsysteme mit einem Indexmarkierungsleser zur einfachen Positionierung der Masken. Es verfügt auch über einen internen softwaregesteuerten Verschluss, mit dem Benutzer zwischen manuellem Verschlussmodus und automatischer Verschlusssteuerung wählen können. MICROTEC MA-56 wurde entwickelt, um eine sehr präzise Ausrichtung zu ermöglichen, mit einer Mindesteigenschaftsgröße von 0,5 μ m. Es bietet auch variable Zykluszeitoptimierungsalgorithmen, die eine schnellere Verarbeitung und einen höheren Durchsatz ermöglichen. Insgesamt ist KARL RUß MA 56 ein vielseitiger und hochpräziser Maskenausrichter, der auch für anspruchsvollste Photolithographieanwendungen geeignet ist. Es bietet überlegene Bildqualität, automatisierte Ausrichtung und hohe Durchsatzprozesse mit minimalem Benutzereingriff.
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