Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9210757 zu verkaufen

ID: 9210757
Wafergröße: 5"
Mask aligner, 5" Manual loading Lamp power: 110 V.
KARL RUß/MICROTEC MA 56 ist ein hochpräziser Maskenausrichter zur präzisen Ausrichtung von Masken und Substraten. Dieses Werkzeug wird in photolithographischen Verfahren zur Mikrofertigung und anderen mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) eingesetzt. MICROTEC MA56 Maskenausrichter besteht aus einer Ausrichteinheit, einer Optik und einer motorisierten X, Y-Stufe. Der Aligner projiziert mit einer Lichtquelle ein Bild der Maske auf das Substrat und sorgt für eine hochpräzise Ausrichtung auf 1,2 Mikrometer. Die Optik umfasst ein beleuchtetes Retikel, Strahlteiler, Abbildungslinsen und Strahlexpanderlinse. Die motorisierte X, Y-Stufe hält das Substrat und verfügt über eine manuelle Z-Stufe zur Höhenverstellung. KARL RUß MA-56 ermöglicht die Ausrichtung verschiedener Maskengrößen von 4 „x 5“ bis 8 „x 10“. Dieser Masken-Aligner wurde entwickelt, um bedienerfreundlich zu sein, mit automatisierten Funktionen zur Vereinfachung der Einrichtung und Bedienung. Es verfügt über ein digitales Bildgebungsgerät, das das Ausrichtverfahren auf dem hochauflösenden Monitor anzeigt. KARL RUß MA56 verfügt zudem über eine automatische Zielsteuerung und eine Autofokus-Einheit, um eine präzise Ausrichtung zu gewährleisten. MICROTEC MA-56 hat eine Ausrichtungsgenauigkeit von besser als 1,2 Mikrometer und eine Punktgröße von 6 µm (FWHM). Es verfügt außerdem über ein beleuchtetes Retikel zur einfachen Betrachtung von Masken-/Substratmerkmalen und eine optionale UV-Maschine für Direct-Write-Prozesse. MA 56 Maske Aligner ist eine ausgezeichnete Wahl für Anwendungen mit hoher Genauigkeit, schnelle, präzise Ausrichtung und langfristige Leistung. Es ist ein ideales Werkzeug für MEMS und photolithographische Prozesse und ermöglicht die Herstellung hochpräziser Komponenten und Geräte. Dieses Tool ist einfach zu bedienen und liefert kostengünstig genaue Ergebnisse.
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