Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9270575 zu verkaufen
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KARL RUß/MICROTEC MA 56 ist ein hochpräziser, automatisierter Maskenausrichter für photolithographische Prozesse in der industriellen Forschung und Produktion. Es wird verwendet, um dünne Filme aus Photolack, wie sie bei der Halbleiterherstellung verwendet werden, abzuscheiden und zu strukturieren. MICROTEC MA56 ist mit einer Auflösung von 5-115 Mikrometern ausgestattet und eignet sich für Schichten mit einer Dicke von bis zu 500 Nanometern. Die Maschine verwendet ein auf einer Servostufe montiertes Abbildungssystem, um eine Photolithographiemaske auf einem Substrat wie einem Si-Wafer zu belichten. Das Substrat wird dann in eine Position nahe dem Abbildungssystem bewegt, wo es ausgerichtet und fokussiert wird. Die Maschine ist sowohl einachsig als auch zweiachsig ausrichtbar. Es ermöglicht eine Vielzahl von Ausrichtungsmethoden, wie automatische Ausrichtung, Full-Field-of-View-Messungen, Targeting, Kreuzhaare und linearer Autofokus. KARL RUß MA-56 steuert mit einem Massendurchflussregler exakt die Zufuhr von Chemikalien, wie Photoresist und Entwickler, auf das Substrat. Die Prozessbedingungen, wie Temperatur, Feuchtigkeit, chemische Konzentration und Flussmittel, lassen sich leicht einstellen. Die Maschine bietet auch eine breite Palette von Sicherheitsfunktionen und entspricht den aktuellen EMV-Vorschriften. MICROTEC MA 56 verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche und einen hochgradig konfigurierbaren Workflow. Es kann eine Vielzahl von Programmiersprachen ausführen, einschließlich C, Visual Basic und Pascal. Die Maschine kann ferngesteuert werden und ermöglicht Fernbeobachtung und -überwachung. Insgesamt ist KARL RUß/MICROTEC MA-56 ein benutzerfreundlicher, hochpräziser Maskenausrichter, der sich für verschiedenste Photolithographieverfahren eignet. Es bietet eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit und ist in der Lage, die Auflösung der Funktionen bis zu 5-115 Mikrometer zu erreichen. Die Maschine ist sowohl ein- als auch zweiachsig ausrichtbar und lässt sich leicht anpassen, um die Prozessbedingungen zu optimieren. Seine intuitive Benutzeroberfläche und Fernbedienung machen MA56 zu einem wertvollen Werkzeug für industrielle Forschung und Produktion.
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