Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9382959 zu verkaufen
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KARL RUß/MICROTEC MA 56 ist ein halbautomatischer, ultrapräziser Maskenausrichter für industrielle Photolithographieanwendungen wie Photomaskenherstellung, Waferbildgebung und mehrschichtige Prozessintegration. MICROTEC MA56 kann eine Maske (Transparenz) mit einem Wafer (Silizium-Wafer-Schicht) auf ein Nanometer-Niveau der Genauigkeit ausrichten, so dass die Präzision Platzierung von Mustern auf dem Wafer. KARL RUß MA-56 verfügt über ein Roboterbetätigungssystem, das eine präzise Höhe und elektromechanische Ausrichtung einer Maske auf einen Wafer mit einer Wiederholbarkeit von 0.5um ermöglicht. Das Gerät nutzt eine intuitive Computersteuerung, die eine einfache Einrichtung und Bedienung ermöglicht. KARL RUß/MICROTEC MA-56 verfügt über zwei Laserpositionierungssysteme mit hochauflösendem Pulverbeugungsautofokus und optischer Interferenz für optimale Ausrichtgenauigkeit und Wiederholbarkeit. Die XY-Bühne verfügt über integriertes digitales Auslesen, das eine Ausrichtungsgenauigkeit von bis zu 0,25 um in der X- und Y-Achse ermöglicht. Dieser Masken-Aligner bietet auch eine breite Palette von optischen und mechanischen Optionen, um die Herstellung von Präzisionsfotomasken für die Herstellung von Wafer-Ebenen zu erleichtern. Darüber hinaus umfasst MA 56 verschiedene Belichtungssysteme und Optionen wie einen gepulsten Diodenlaser, einen Punktstrahlgenerator, eine Lichtquelle und ein Ausrichtvergrößerungsmikroskop. Verschiedene optische Komponenten wie Filter, Linsen, Strahlteiler und Projektionsoptiken sorgen für intensive Lichtstrahlung (typischerweise im ultravioletten und sichtbaren Wellenlängenbereich) und die Fähigkeit, die Strahlengröße von 25 bis 400 Mikrometer zu variieren. MA-56 eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, die eine maßgeschneiderte und präzise Maske-zu-Wafer-Ausrichtung erfordern. Es ist die perfekte Lösung für Kunden, die einen präzisen Mustertransfer für komplizierte Photomasken benötigen und sich gut für die Wafer-Verpackung (WLP) eignen.
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