Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #293639160 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 6/BA 6 ist ein Maskenausrichter von MICROTEC, einem Hersteller von Präzisionsgeräten für die Halbleiterindustrie. Die Maskenausrichtsysteme MA 6 und BA 6 bieten genaue, wiederholbare Ergebnisse für High-End-Photolithographieanwendungen, die eine Auflösung auf Nanometerebene erfordern. MICROTEC MA6/BA6 Maskenausrichter hat eine Z-Achsen-Auflösung von 0,01 Mikrometern und eine Minumum-Schrittweite von 0,12 Mikrometern. Es ist in der Lage, ein Substrat mit einer Wiederholbarkeit von < 0,1 Mikrometer zu positionieren. Der Positioniertisch hat eine lineare Skala von 700 mm mal 600 mm und ist in der Lage, Substrate mit einer maximalen Größe von 12 "genau zu positionieren. Die Maschine ist mit einer Dual-Beam-Ausrüstung ausgestattet, die schnelle Ausrichtzeiten mit Split-Field-Messfähigkeit bietet. Das Doppelbalkensystem enthält zwei Laserdiode interferometer/position Feedbacksysteme, die Nanometer-Flachlagerungsgenauigkeit bieten und schnelle Anordnung berücksichtigen. Es ist auch mit einem hochauflösenden telezentrischen Optikmodul ausgestattet, das ein Blickfeld mit einer Vergrößerung von 30x oder mehr bietet. KARL RUß MA6/ BA6 bietet mehrere Funktionen, um zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten und das Fehlerrisiko zu minimieren. Um das Risiko einer Kontamination zu reduzieren, ist die Maschine mit einem Autofokus-Belichtungswerkzeug ausgestattet, das Belichtungswellenlängen konsistent hält. Es hat auch einen Vakuumhalt, der jede Substratbewegung während der Belichtung verhindert. Um das Risiko von Kratzern oder Dellen auf dem Substrat zu minimieren, ist die Anlage mit Luftkissen-Fähigkeiten ausgelegt. Das Modell bietet auch eine breite Palette von Belichtungsquellen, wie Hochleistungs-Quecksilberbogen und XeCl-Belichtungslampen, die eine superhohe Präzisionsmusterung mit Belichtungszeiten von weniger als einer Sekunde bieten. Darüber hinaus bieten die eingebauten UV- und IR-Filter eine saubere Arbeitsumgebung, wodurch das Risiko der Absorption von Substraten jeglicher Art von Strahlung minimiert wird. Schließlich ist KARL RUß/MICROTEC MA6/BA6 Masken-Aligner auch mit einer umfangreichen Palette von Diagnose- und Service-Tools ausgestattet, die Messungen, Inspektionen und Leistungstests mit vollständiger Werkzeugkontrolle ermöglichen und somit ideal für Forschung und Entwicklung geeignet sind. Aufgrund seiner Vielseitigkeit, robusten Konstruktion und Genauigkeit ist MICROTEC MA-6/ BA-6 Maskenausrichter ein ideales Werkzeug für jede präzise Photolithographie-Anwendung.