Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #131530 zu verkaufen
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ID: 131530
Wafergröße: 6"
Topside and IR mask aligner, 6"
With backside IR
Chuck, 6"
Split field optics:
Torret type
UV 400 Optics
Lamp: 500W Mercury short-arc lamp
Power supply: CIC 1000.
KARL RUß/MICROTEC MA 6 ist ein Masken-Aligner für den Einsatz in der Präzisionsausrichtung und Photolithographie verschiedener Materialien, darunter Metalle, Glas, Keramik und Kunststoffe. MICROTEC MA6 ist ideal für den Einsatz in Elektrodenabscheidung, Photoresistverarbeitung und BioMEMS-Mikrobearbeitung. KARL RUß MA-6 verfügt über eine extrem präzise, automatisierte Bildausrichtungseinrichtung, die für nahezu jedes Photoresist- oder Polymersubstrat genaue und wiederholbare Fotolithographie-Maskenausrichtungen gewährleistet. Der Maskenausrichter verfügt außerdem über ein hochempfindliches optisches Registriersystem, das den Versatz zwischen der Maskierungsstruktur und dem Substrat genau messen kann. Diese Einheit ist in der Lage, die Maske genau auf 0,5 Mikrometer auszurichten. MICROTEC MA 6 bietet auch eine breite Palette von fortschrittlichen Photolackverarbeitungstechniken. Dazu gehören Parallelität mit variablem Winkel, Parallelität mit variabler Richtung und Ausrichtung mit variablem Fokus. Der Masken-Aligner verfügt auch über eine automatisierte Empfindlichkeitskontrollmaschine, die lineare und nichtlineare Widerstandskontrolle über eine breite Palette von Widerständen bietet. Die integrierte Software gibt dem Anwender die Möglichkeit, Prozesszeiten, Temperaturen und andere Parameter während eines Photolithographie-Zyklus zu überwachen und zu steuern. KARL RUß MA 6 bietet zudem durch ein fortschrittliches Kühlkörperdesign eine hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit. Die Wärmesenke ist dafür ausgelegt, erwärmte Luft gleichmäßig über die Substratoberfläche zu zirkulieren. Dies sorgt für optimale Effizienz und Präzision bei der Photolithographie. KARL RUß/MICROTEC MA6 enthält auch integrierte Sicherheitsmerkmale, die die Sicherheit von Personal, Ausrüstung und Umwelt gewährleisten. Dazu gehören ein Lichtvorhang, Sicherheitsverriegelungen, Luftfiltrations- und Vakuumtrennventile sowie ein Schutzschild. MICROTEC MA-6 ist ein vielseitiges Werkzeug, mit dem sich nahezu jedes Material exakt ausrichten und lithographieren lässt. Das hochgenaue Bildausrichtungswerkzeug, fortschrittliche Photoresist-Verarbeitungstechniken, überlegene Temperaturgleichmäßigkeit und das Spektrum an Sicherheitsmerkmalen machen KARL RUß MA6 zu einer idealen Wahl für nahezu jede Anwendung.
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