Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293592970 zu verkaufen
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ID: 293592970
Wafergröße: 6"
Mask aligner, 6"
Gen 1
Resolution: 1 Micron
Split field microscope with (6) objectives
Option: IR, 3"
Mask holder, 7x7"
Power supply: 1000 W.
KARL RUß/MICROTEC MA 6 ist ein fortschrittlicher Maskenausrichter für hochpräzise Ausrichtung und Registrierung. Es ist mit einer automatisierten Laseranlage zur hochgenauen Ausrichtung von bis zu sechs Substraten in einem Zyklus ausgestattet. Die Genauigkeit der Ausrichtung und Registrierung beträgt 0,5 µm in x, y Richtungen und ein µm in z-Richtung. Die Genauigkeit des Systems wird ferner durch das Vorhandensein eines hochsensitiven Wafer-Edge-Erkennungsmerkmals unterstützt. Der Ausrichtungs- und Registrierungsvorgang erfolgt durch sequentielles Zünden von fünf getrennten Laserstrahlen auf eine Reihe von Markern auf dem Substrat. Jeder Marker wird überwacht und korrigiert, um die erforderliche Toleranz zu erfüllen, so dass er genau ausgerichtet und mit dem Substrat der Wahl verbunden wird. MICROTEC MA6 umfasst eine Wafer-Stufenrobotereinheit zur Erleichterung des Be-/Entladens von Substraten und eine integrierte thermische Maschine, um sie im idealen Temperaturbereich zu halten. Der Maskenausrichter verfügt außerdem über einen automatischen Retikelaustausch und eine integrierte Zentrale, die eine visuelle Schnittstelle und eine Echtzeitüberwachung des Prozesses bietet. Das fortschrittliche Design ermöglicht einen einfachen und einfachen Wechsel der Parameter zwischen den Rezepturen und ermöglicht so eine erweiterte Flexibilität im Ausrichtungsprozess. KARL RUß MA-6 verwendet auch ein Vision-Tool, um Retikel auf Defekte zu scannen, die eine fehlerfreie Ausrichtung in jedem Substrat gewährleisten. MICROTEC MA 6 ist ein sehr zuverlässiger Maskenausrichter, der in einer Reihe von Branchen wie Elektronik, Optoelektronik, Photonik und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) eingesetzt werden kann. Die Anlage selbst ist staubgeschützt und kann in einer Reihe von Produktionsumgebungen eingesetzt werden, von großvolumigen bis hin zu großen Clusterkonfigurationen. Es bietet ausgezeichnete Stabilität und Zuverlässigkeit für seine Klasse, so dass es ideal für Anwendungen, die hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit. MA6 ist ein ideales Werkzeug, um mikrostrukturierte Bauteile in präzisen Fertigungsprozessen auszurichten, da sie eine Ausrichtung mit hochwertigen, hochpräzisen und wiederholbaren Ergebnissen durchführen können. Abschließend ist KARL RUß/MICROTEC MA-6 ein fortschrittlicher Aligner für hochpräzise Anwendungen. Mit seinem hochautomatisierten und zuverlässigen Modell kann es eine genaue Ausrichtung und Registrierung mit ausgezeichneter Stabilität für die Klasse bieten. Die Ausrüstung ist staubgeschützt und kann in einer Reihe von Produktionsumgebungen und -konfigurationen arbeiten und ist somit eine gute Wahl für präzise Fertigungsprozesse.
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