Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293600857 zu verkaufen

KARL SUSS / MICROTEC MA 6
ID: 293600857
Mask aligner Top Side Alignment (TSA) Bottom Side Alignment (BSA).
KARL RUß/MICROTEC MA 6 ist ein hochmoderner Maskenausrichter für photolithographische Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es verfügt über eine hochpräzise automatisierte Ausrichtausrüstung, die Präzisionsmaskierung und Wafer-Stufen mit einem einzigartigen Scanner zur Feineinstellung kombinieren kann. MICROTEC MA6 bietet zudem eine extrem hohe Genauigkeit für alle optischen Komponenten und ermöglicht eine überlegene Bildreproduzierbarkeit in anspruchsvollen Lithographieverfahren. Das Ausrichtsystem von KARL RUß MA-6 ist in der Lage, eine Feinpositioniergenauigkeit von 0,15 µm zu erreichen, indem es zwei Arten von Stufen kombiniert: eine Präzisionsmaskierstufe und eine hochpräzise Waferstufe. Die Maskierungsstufe verwendet zwei Präzisions-5-Achsen-Piezo-Aktuatoren mit einem Bereich von 100 µm, um eine überlegene Ausrichtung der Maske und des Wafers zu erreichen. Der hochauflösende Scankopf wurde entwickelt, um eine Ausrichtung von Maske und Wafer mit einer Genauigkeit von 0,3 µm zu erreichen. MA6 enthält eine komplette Reihe von Steuerungssoftware zur Optimierung der Lithographieleistung. Der Zustand sowohl der Masken- als auch der Waferstufen wird ständig überwacht, was eine überlegene Zuverlässigkeit für komplexe Lithographieverfahren bietet. Die Software kann verwendet werden, um den Ausrichtungsprozess zu skritieren oder die Einheit für bestimmte Anwendungen zu optimieren. KARL RUß/MICROTEC MA-6 ist mit einer Reihe fortschrittlicher Funktionen für überlegene Lithographieergebnisse ausgestattet. Es verfügt über eine UV-Laserquelle hoher Intensität, die eine außergewöhnlich gleichmäßige Belichtung des Wafers ermöglicht. Die bildgebende Maschine enthält auch ein fortschrittliches Werkzeug zur Messung der Lichtintensität, die perfekte Belichtungspegel für jeden Punkt in der Belichtung gewährleistet. Ferner wird durch die Präzisions-5-Achsen-Piezoaktuatoren eine Mikrometerausrichtung von Maske und Wafer erreicht. KARL RUß MA 6 eignet sich für ein breites Spektrum von Lithographieanwendungen, einschließlich Scribing, Kontaktdruck, Tintenstrahldruck und Photoresist-Reflow-Verfahren. Die hohe Genauigkeit, Präzision und vielseitige Steuerungssoftware machen es zu einer idealen Wahl für fortschrittliche Photolithographie. Mit der richtigen Kombination von Masken- und Waferbühnen kann KARL RUß MA6 den anspruchsvollen Anforderungen moderner Lithographieverfahren gerecht werden.
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