Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293623425 zu verkaufen

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ID: 293623425
Mask aligner.
KARL RUß/MICROTEC MA 6 ist ein hochpräziser, vollautomatischer Maskenausrichter zur Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Es ist in der Lage, Geräte auf Substratscheiben bis 200 mm Größe auszurichten und zu belichten. Diese Mikroverarbeitungsmaschine verwendet ausgeklügelte Software sowie optische und motorische Steuerungen, um Merkmale und Ausrichtungsmarken genau auf das Substrat zu platzieren. Das optische System besteht aus einer telezentrischen Linse, Ausrichtstrahlen und Bühnenbewegung. Die Motorsteuerung kann die X- und Y-Achsbewegung variieren und beinhaltet sowohl Schrittbewegung als auch kontinuierliche Bewegung. Die Ausrichtungsmöglichkeiten der Maschine werden durch den Einsatz der optischen Strahlteilungstechnologie weiter verbessert, wodurch die Ausrichtungsstrahlen in mehrere Spots aufgeteilt werden können. Dadurch ist es möglich, die Ausrichtmarken und die KEs an mehreren Stellen gleichzeitig auszurichten. Auch das optische Subsystem ist sehr genau, mit einer Ausrichtungsgenauigkeit von bis zu 1 µm. MICROTEC MA6 bietet eine breite Palette von Resistbelichtungstechniken, wie optische, E-Strahl und Röntgenlithographie. Es kann auch zur Ausrichtung von Lotkugeln und Schaltungskomponenten verwendet werden. Die automatischen Belichtungs- und Ausrichtungsfunktionen der Maschine sorgen dafür, dass feinste Details auch bei kleinen Substraten noch präzise gedruckt werden. KARL RUß MA-6 umfasst auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie geschlossene Oberflächen und eine benutzerfreundliche Bedienoberfläche. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein Softwarepaket zur Steuerung und Überwachung von Werkstückparametern. Die Software ermöglicht die einfache Eingabe, Protokollierung und Speicherung wiederholbarer Prozessrezepte. Schließlich ist MA6 sehr zuverlässig konzipiert und verfügt über eine erfolgreiche Erfolgsbilanz in Produktionslinien auf der ganzen Welt. Das robuste Design und die hervorragende Leistung machen es zur perfekten Wahl für hochpräzise Serienanforderungen.
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