Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9116715 zu verkaufen
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ID: 9116715
Mask aligner
6” Topside and 3” backside IR
Split field microscope with (6) objectives
Resolution: 1 Micron upto 6" wafers
BSA Chuck for 3" wafers included
Power supply: 1000 Watts.
KARL RUß/MICROTEC MA 6 ist ein Maskenausrichter für photolithographische Prozesse. Es ist ein sehr zuverlässiges und genaues Werkzeug für Mikroskopmusterbearbeitungen und eignet sich gut für die Geräteherstellung, Nanobearbeitung, Direktschreibung und Dünnschichtabscheidung. Im Zentrum von MICROTEC MA6 steht die Präzisionsausrichtungstechnologie. Das Instrument verwendet eine „selbstjustierende Ausrüstung“, um Überhänge und Hinterschneidungen schnell und genau zu registrieren. Dieses System ermöglicht es dem Benutzer, die gewünschten Funktionen mit einer wiederholbaren Genauigkeit von 10nm genau zu lokalisieren. Der Maskenausrichter ist mikroprozessorgesteuert und ermöglicht eine einfache Bedienung und Programmierung. Die PA 6 ist zudem mit einem 9,7-Zoll-LCD-Panel ausgestattet. Dieses Bedienfeld zeigt Musterdaten sowie Parameter für die Bühnensteuerung sowie Ausrichtungseinstellungen an. Darüber hinaus ist ein 18-Zoll-Monitor zur Überprüfung von Daten enthalten, die separat an einen Drucker vor Ort ausgegeben werden. KARL RUß MA-6 ist mit einer effizienten Belichtungslichtquelle ausgestattet. Diese Lichtquelle bietet eine steuerbare Leistung über ein breites Spektrum, von UV und sichtbar bis hin zu Infrarot. Diese Lichtquelle ermöglicht auch eine hohe Gleichmäßigkeit der Belichtung über den Wafer. Der Maskenausrichter verwendet eine optische Vollfeldausrichteinheit, mit der der Benutzer die Feldposition der Maske anzeigen, messen und anpassen kann. Diese Maschine gewährleistet eine präzise Overlay-Ausrichtung über den Wafer, wodurch die Wahrscheinlichkeit einer ungleichmäßigen Belichtung reduziert wird. KARL RUß/MICROTEC MA6 ist auch mit einer Reihe von Bühnen- und Handhabungssystemen ausgestattet, einschließlich einer Auswahl an manuellen und automatisierten Stufen. Stufen sind entweder manuell oder automatisiert, je nach den am besten geeigneten Anforderungen des Benutzers. Die Genauigkeit dieser Stufen beträgt 10nm bei einer mittleren Stufenschwingungsrate von 0,1 µm. MICROTEC MA-6 ist eine ideale Lösung für alle, die Präzision, Genauigkeit und Zuverlässigkeit suchen. Die Flexibilität und Eigenschaften des Maskenausrichters sorgen für die Erfüllung der Anforderungen vieler Photolithographie-Prozesse und bieten qualitativ hochwertige Strukturierungen auf einem breiten Spektrum von Substraten.
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