Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9179543 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 6 ist ein High-End-Masken-Aligner, der zur Maskenmusterausrichtung für das UV-Nanolithographieverfahren verwendet wird. Dies ist ein Werkzeug zur Halbleiterherstellung und Photomaskenherstellung. Es ist in der Lage, 6-Zoll-Wafer mit Submikron-Ausrichtungsfähigkeit zur Verfügung zu stellen und wird für die Feinstrukturierung von mikroelektronischen Komponenten verwendet. MICROTEC MA6 verfügt über eine einzigartige Strahlabtastausrüstung, die vier Masken-Autofokus-Motoren für insgesamt 8 Autofokus-Sensoren umfasst. Diese ermöglichen eine hochauflösende optische Mustererkennung, die zur automatischen Neuausrichtung und Korrektur der Muster auf der Maske verwendet wird. Das hochauflösende Abbildungssystem ist auch in der Lage, kleinere Verzerrungen in der Maske sowie Pixelauflösung bis auf 0,3 Mikrometer zu erkennen. Das Tool wurde entwickelt, um einen hohen Durchsatz und schnelle Ausrichtungszeiten zu bieten, wobei die Zykluszeit für einen 6-Zoll-Wafer weniger als 6 Minuten beträgt. Durch die automatische Ausrichtung und Optimierung, die durch die Bordsoftware erreicht wird, kann dem Anwender eine hohe Ausbeute und Genauigkeit gewährleistet werden. Das Gerät ist auch mit erweiterter Layoutbearbeitungssoftware kompatibel. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie in eine bestehende Lithographie-Umgebung integriert werden kann und ist mit Nieder- und Hochspannungsnetzteilen ausgestattet, die bis zu 150 Watt Leistung für Anwendungen mit hohem Durchsatz bereitstellen können. Darüber hinaus ist die Leistung einstellbar, um konstanten Widerstand und Gleichmäßigkeit der Belichtung zu gewährleisten, wodurch eine hohe Kontrolle über die Glühantwort ermöglicht wird. KARL RUß MA-6 bietet einen umfassenden Satz an Bedienelementen, einschließlich der Einstellung der Belichtungszeit, des Belichtungsbereichs und des Strahldurchmessers. Weiterhin ist es möglich, mittels Touch-Pad-Steuerung kleine Anpassungen an Fokus, Ausrichtbereich und Strahlformate vorzunehmen. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit zusätzlichen Merkmalen ausgestattet, die eine Musterentgratung und Retikelzugabe ermöglichen. MICROTEC MA 6 ist ein zuverlässiger und präziser Maskenausrichter. Es bietet eine umfassende Palette von Funktionen und bietet Anwendern ein zuverlässiges Werkzeug, das in der Lage ist, Submikron-Ausrichtung und mit hohem Durchsatz zu liefern. MA 6 eignet sich für verschiedene Maskenmusterbedürfnisse, einschließlich derjenigen im Zusammenhang mit Photomasken-Herstellungsprozessen und Halbleiterherstellung.