Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9230018 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 6 ist ein Mikroelektronik-Masken-Aligner für die Photolithographie auf Waferebene. Es ist ein vollautomatisiertes Instrument, das nach dem Prinzip der Projektionsbildgebung arbeitet. Die Vorrichtung richtet das optische Bild einer Fotomaske auf ein beschichtetes oder unbeschichtetes Substrat aus, um photolithographische Muster auf dem Substrat herzustellen. MICROTEC MA6 umfasst eine mechanisch gesteuerte Maskenstufe zur Handhabung und Ausrichtung der Fotomaske. Es enthält auch eine Waferstufe, die das Substrat automatisch in x-, y- und z-Richtung bewegt. KARL RUß MA-6 beherbergt Substrate bis 150 mm Durchmesser mit Spin- und linearen Kontaktbelichtungen. Die Maskenstufe hat eine einstellbare x-, y- und z-Ausrichtung zur genauen Ausrichtung von Maske und Substrat. KARL RUß MA 6 hat eine maximale Auflösung von 0,5um, die typischerweise für Halbleitertechnologien verwendet wird, und eine minimale Merkmalsgröße von 1,0um, die für Anzeige- und Sensoranwendungen verwendet wird. Es hat einen Belichtungsenergiebereich von 0,15 mJ bis 3,2 mJ mit einer Genauigkeit von 0,15 mJ. Eine flüssige stickstoffgekühlte Strahllenkung ermöglicht eine genaue Ausrichtung und Belichtung. Das Instrument wurde entwickelt, um eine kostengünstige, subhalbe Mikrometer-Bildgebung zu ermöglichen. MA6 verfügt auch über eine optionale I-line-Maschine, die die Markierung von inneren Schichten ermöglicht. Eingebaute Flipper sorgen für eine gründliche Reinigung aller optischen Komponenten. Die mitgelieferte Mehrschichteinheit ermöglicht die Herstellung mehrerer Schichten mit nur einer Belichtung. Die programmierbare, dynamische Ausrichtung ermöglicht die genaue und reproduzierbare Platzierung von Ausrichtmarken. Die Software richtet die gewünschte Maske auf das Substrat aus, um eine korrekte Ausrichtung zu gewährleisten. Die MA 6 umfasst auch eine integrierte Ätzung zum Trockenätzen von Fotolack und eine Nassätzmöglichkeit zum Entfernen von hinterschnittenen Fotolacken. Es hat eine hohe Wiederholbarkeit, mit einer Genauigkeit von 0,05 Prozent. Es hat auch eine integrierte Kühlung der Waferstufe, um seine Lebensdauer zu verlängern und ermöglicht eine hochpräzise Bildgebung. Das Instrument bietet mit seiner Benutzeroberfläche eine einfach zu bedienende, vollautomatische Benutzeroberfläche. Es ist so konzipiert, dass es allen wichtigen Sicherheits- und Emissionsnormen entspricht. Diese Eigenschaften machen KARL RUß/MICROTEC MA-6 ideal für Prototypen, Klein- und Mittelserien sowie Forschung und Entwicklung.