Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9242865 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 6 ist ein hochmoderner Masken-Aligner im Bereich der Lithographie. Es kombiniert eine einzigartige, leistungsstarke optische Ausrüstung mit einem hochpräzisen mechanischen Ausrichtsystem und bietet so eine hohe Genauigkeit, ohne den Durchsatz oder die Prozesssicherheit zu verlieren. Das Gerät eignet sich sowohl für die Laser-Direktabbildung als auch für die Immersions-Lithographie und Weichmasken-Lithographie. Die vollautomatische Ausrichtung des Wafers auf das Retikel sorgt für Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Ausrichtvorgangs. Die optische Maschine von MICROTEC MA6 besteht aus drei Hauptkomponenten: einer großen Blickfeldkamera, einem Bilddrehwerkzeug und einem Langstreckenmikroskop. Die Kamera erfasst ein hochauflösendes Bild der gesamten Maske, das dann zur präzisen Ausrichtung des Substrats auf die Maske mit dem Bilddrehgut gekoppelt wird. Das Mikroskop bildet dann den kleinen Interessenbereich mit Submikron-Auflösung ab. Das optische Modell bietet ein großes Sichtfeld, das eine genaue Ausrichtung und kurze Ausrichtungszeiten unter Beibehaltung einer hohen Auflösung ermöglicht. Das Gerät ist auch in der Lage, vollständige Overlay-Messungen, so dass die Feinabstimmung der Ausrichtungsparameter. Das mechanische Ausrichtsystem ermöglicht eine präzise Steuerung der Waferpositionierung. Das Gerät verwendet eine einzigartige 6-Achsen-Ausrichtstufe, die eine präzise Positionierung des Substrats in drei Dimensionen ermöglicht. Der Bewegungsbereich ist optimiert, um eine präzise Platzierung des Wafers in Bezug auf die Maske zu gewährleisten. Zusätzlich enthält die Maschine ein Schwalbenschwanzwerkzeug zur präzisen Drehausrichtung und Neigungskorrektur des Wafers. KARL RUß MA-6 ist für Serienumgebungen konzipiert und bietet eine hervorragende Ausrichtungsgenauigkeit sowie Durchsatz. Die Anlage eignet sich ideal für messtechnische und qualitätssichernde Anwendungen und bietet genaue Messungen für die Retikelbewertung und Prozessoptimierung. Die Kombination aus fortschrittlichen optischen und mechanischen Systemen ermöglicht es dem Modell, schnelle, genaue und wiederholbare Ergebnisse für alle Arten von Anwendungen zu liefern.