Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9286934 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 6 ist ein vollautomatisches, hochpräzises Kontaktausrichtgerät für die Photolithographie. Es ist für die Halbleiterverarbeitung konzipiert und kann verwendet werden, um Wafer-Ebene Maskenschichten mit Sub-Mikron-Genauigkeit auszurichten und zu mustern. Das System verfügt über eine hochmoderne XYZ-Ausrichtstufe zur präzisen Positionierung und Messung. MICROTEC MA6 kommt mit einem 25x visuellen Mikroskop zur Fehlerinspektion, mit einem Sichtfeld von bis zu 700x zur Masken- und Waferausrichtung und verfügt über zwei unabhängige 12-Stationen-Magazinsysteme zur Maskenbeladung. Das Mikroskop kann zur Ausrichtung, Prozessinspektion, Oberflächenmesstechnik und Wafermesstechnik eingesetzt werden. KARL RUß MA-6 verfügt über eine direkte Bildgebung mit drei Würfeleckenreflektoren, um die genaue Position der Maske relativ zum Wafer zu überprüfen und zu bestimmen. Es kann Rasterelektronenstrahlbildgebung, i-line Belichtung und speichergesteuerte Datenverwaltung verwenden, um detaillierte Prozessinformationen zu speichern. Das Gerät ist vollautomatisiert und die Hauptsteuerungssoftware kann bis zu neunundfünfzig Prozessschritte steuern. Die Basismaschine KARL RUß/MICROTEC MA-6 umfasst zwei Sätze von Maskenausrichtungsstufen, eine Probenstufe für Thewafer, einen Maskenausrichtungssensor und eine Lichtquelle sowie dedizierte Maskenausrichtungssoftware und Alignment Detection Subsysteme. Das eingebaute Metrologie-Subsystem ermöglicht präzise Messungen der Wafer-Masken-Ausrichtung. Darüber hinaus verfügt es über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche sowie eine Reihe zusätzlicher Automatisierungs- und Engineering-Optionen. MICROTEC MA 6 Werkzeug wird für eine Vielzahl von Halbleitertechnologien verwendet, einschließlich Photomaskenherstellung, MEMS-Herstellung, 3D-integrierte Schaltung und mikrofluidische Bauelementherstellung. Sie kann für Rapid Prototyping, Kleinserienproduktionen und zur Erzielung hoher Erträge in der Massenproduktion eingesetzt werden. Die Genauigkeit und Geschwindigkeit des Geräts machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungsanforderungen.