Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9375851 zu verkaufen
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ID: 9375851
Wafergröße: 6"
Mask aligner, 6"
Substrate size: 6″ x 6″
Pieces down to 5 x 5 mm
Mask size SEMI: Standard up to 7″ x 7″
Expsoure optics::
Wavelength range:
UV400 350: 450 nm
UV300 280: 350 nm
UV250 240: 260 nm
Exposure source:
Hg lamp
Power: 200 -1000 W
HgXe lamp
Power: 500 W
Intensity uniformity: ± 5 %
MO Exposure optics: ± 2.5 %
Alignment stage:
Movement range
X: ± 10 mm
Y: ± 5 mm
θ: ± 5°
Mechanical accuracy: 0.1 μm (step size).
KARL RUß/MICROTEC MA 6 Maske Aligner ist eine anspruchsvolle optische Ausrüstung für die präzise Anwendung von Photolack auf Halbleitersubstraten. Es ist in der Lage, ein Retikel mit Nanometergenauigkeit und Reproduzierbarkeit auf einen photoresistbeschichteten Halbleiter zu positionieren. Das System arbeitet mit Spiegeln und Linsen, um Licht auf das Substrat zu projizieren und ein Muster aus hellen und dunklen Bereichen zu erstellen. Dies wird von einer ladungsgekoppelten Gerätekamera (CCD) detektiert und das Bild analysiert, um das Muster auf das Substrat auszurichten. MICROTEC MA6 ist so konzipiert, dass es mit vielen Substratmaterialien wie Silizium, Galliumarsenid, polykristallinem Diamant sowie Quarz und anderen glasartigen Materialien kompatibel ist. Es ist auch mit Funktionen wie Fan-Strahl-Beleuchtung für erhöhten Arbeitsabstand, hohe Auflösung und Hochleistungslaser für hohe Präzision Positionierung und Dual-Strahl-Belichtung für verbesserte Muster Anpassung Genauigkeit ausgestattet. Neben den wesentlichen Komponenten verfügt KARL RUß MA-6 über eine Reihe weiterer nützlicher Funktionen, die es ermöglichen, auf verschiedene Anwendungen zugeschnitten zu sein. Dazu gehören die Möglichkeit, Außer-Fokus-Bedingungen zu erkennen und automatisch zu korrigieren, die Einstellung der Maskenkompensation und der Bildverschiebung, die Speicherung von Maskenregistrierungsdaten und ein Multi-Belichtungsmodus zur Handhabung komplizierter Zwischenräume zwischen Elementen. KARL RUß/MICROTEC MA6 verfügt zudem über ein einzigartiges optisches Breadboard, das Vibrationen reduziert und gleichzeitig die Ausrichtung optischer Elemente ermöglicht. Um eine zuverlässige und präzise Ausrichtung zu gewährleisten, verfügt KARL RUß MA 6 über mehrere softwaregesteuerte Ausrichtungsparameter wie Scangröße und Musterreproduzierbarkeit. Das Gerät ermöglicht vier verschiedene Ausrichtungsansätze - parallele Verarbeitung, Raster, Schatten und ein ganzes Layout. Alle diese Funktionen arbeiten zusammen, um schnelle, hochgenaue und wiederholbare Ausrichtungsergebnisse zu liefern. KARL RUß/MICROTEC MA-6 bietet ein breites Anwendungsspektrum von mikroelektronischen bis hin zu biomedizinischen Anwendungen. Es wird in vielen Branchen eingesetzt, darunter Photolithographie, Glasfutter- und Getränkeflaschendekoration, Dünnschicht-Solarzellen-Verarbeitung, Bildverarbeitung und Halbleiter-Wafer-Verarbeitung. Es wird auch bei der Herstellung verschiedener Komponenten wie Mikrolinsen, Linsen und Formkörper eingesetzt. Insgesamt ist MA-6 Masken-Aligner ein ideales Werkzeug zur präzisen Strukturierung von Photolack auf Halbleitersubstraten. Es ist mit fortschrittlicher Technologie und Funktionen ausgestattet, die es ermöglichen, an verschiedene Anwendungen angepasst werden, bietet wiederholbare und genaue Ergebnisse. Es ist eine zuverlässige und hocheffiziente Maschine, die in zahlreichen Branchen auf der ganzen Welt eingesetzt wird.
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