Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 760 #293637680 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 760 ist ein computergesteuerter, auf optischer Projektion basierender Maskenausrichter für Plasmaätzen und photoresistbeschichtete Waferbelichtung. Es eignet sich sowohl für Maskierungs- als auch für messtechnische Anwendungen und ist eines der fortschrittlichsten automatisierten Belichtungssysteme auf dem Markt. MICROTEC MA 760 bietet überlegene Ausrichtungsgenauigkeit und einen hohen Automatisierungsgrad für belichtungskritische Lithographieverfahren. Es verfügt über eine interferometrische Laserstufe, Dual-High-Pixel-Dichte-Kameras, ein High-Speed-Handling-System und einen anspruchsvollen HD-Prozessor. Das optomechanische Teilsystem des leistungsstarken Belichtungssystems bietet dem Anwender höchste Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Durchsatz. Die hochauflösenden Kameras und die 10: 1-Projektionsoptik von KARL RUß MA 760 ermöglichen eine bessere Ausrichtgenauigkeit als 2 Mikrometer und eine hervorragende Kantenplatzierung. Es verfügt über High Dynamic Range Imaging (HDRi) zur Verbesserung der Kanten- und Topographie-Erkennung, während zwei innere Linien-Scan-Kameras detektieren detailliertere Rand subtile Eigenschaften jenseits einer regulären Foto-Maske. MA 760 kann eine breite Palette von Substratgrößen und -formen verarbeiten und ist mit einem sicheren Kantenhandhabungssystem ausgestattet, das Substrate ohne manuellen Eingriff automatisch beladen, ausrichten und belichten kann. Es kann auch eine ausgezeichnete Durchgangsscheibengleichförmigkeit auf großen Flächen bieten. Die benutzerfreundliche Software mit umfassender Prozesssteuerung und Datenanalyse sowie einer umfassenden Palette von Prozessüberwachungs- und Steuerungsalgorithmen sorgt für minimalen Eingriff und einfache Bedienung. Es bietet auch automatische Datenprotokollierung und erweiterte Reporting-Funktionen, einschließlich Wafer-für-Wafer-Daten Rückverfolgbarkeit und Report-Export. KARL RUß/MICROTEC MA 760 ist zuverlässig, langlebig und wartungsfreundlich, dank robuster Konstruktion und stabilem Betrieb im Laufe der Zeit. Eine Reinraumvorgabe der Klasse 1000 stellt sicher, dass die Ausrüstung während ihrer Produktlebensdauer nur einen moderaten Wartungsaufwand erfordert. All diese Eigenschaften machen diese Maschine zu einer guten Wahl für anspruchsvolle Photolithographie-Anwendungen.