Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 Gen3 #293609808 zu verkaufen
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ID: 293609808
Mask aligner
Movement range mask aligner mode: X +/-5.0mm, Y +/- 5.0mm, Theta +/-5°
Movement range bond aligner mode: X +/-3.0mm, Y +/- 3.0mm, Theta +/-3°
Zero position:
Machine base frame: Mechanical, pneumatic, electrical 230V 50/60Hz
Joystick X/Y- and THETA for alignment stage control
TSA Microscope stage with manual / Motorized X-Y-manipulator and rotation
Integrated microscope tilt
BA function:
Manual loading and unloading
PLC Control with LCD display
WINDOWS GUI
Wafer 3" up to 200 mm diameter for bond application
Operator manual
For BSA microscopes with working distance 33mm
Adaption kit Included for constant dose exposure mode
Implemented tooling rack for tooling storage
Qty / Part number / Description
(1) / G206986 / Mask and bond aligner
(1) / 100002005 / Pneumatic expansion kit (BA/UV-NIL/SCIL/SMILE)
(1) / G207694 / Housing TSA/BSA
(1) / 100002830 / Alignment stage WD-33/MOT/A-200
(1) / G207720 / Operation desk mot
(1) / G206685 / M608 Microscope lift mot
(1) / 100000786 / M608 Visual / Screen splitfield microscope / AL400
(2) / G156881 / Turret
(2) / G145984 / Single objective umpl FL 5X/0.15
(1) / G206017 / Exposure unit LH1000
(1) / G179183 / Lamp adapter LH1000/1000W
(1) / G202518 / Lamp power supply unit cic 1200/LH1000
(1) / G206080 / OPTICS UV400/HR/W-200/LH1500
(1) / G206829 / 2 Channels light-sensor 365/405NMFORCIC
(1) / 100018553 / Adapter system for maskholder
(1) / 100008204 / Mask holder
(1) / 100020052 / Mask holder BL/PROX/CONT/M-7-9/W-150.
KARL RUß/MICROTEC MA 8/BA 8 Gen3 ist ein hochpräziser, hochgenauer Maskenausrichter für photolithographische Anwendungen. Dieses Gerät führt Maskenausrichtung, Waferbelichtung und Lift-off-Prozesse, vor allem für die Herstellung von Präzisions-Mikroschaltungen und Photolithographie-Masken. Ausgestattet mit einem zweidimensionalen, zweiachsigen Mikroantrieb, ist MICROTEC MA8BA8-GEN3 Maskenausrichter in der Lage, höchste Genauigkeit, Genauigkeit und Präzision zu bieten, ohne auf Zeit oder Aufwand zu verzichten - auch bei hochdichten Ausrichtungen. KARL RUß MA 8/BA 8 GEN 3 ist in der Lage, bis zu 8 Mikron Auflösung, mit erweiterten Funktionen wie automatische vorjustierte Registrierung und erweiterte Fokussteuerung. Darüber hinaus ist der Maskenausrichter fahrerlos und verfügt über eine optische Ausrichtung, um eine hochpräzise Positionierung zu gewährleisten. Das Gerät unterstützt Spezialmaterialien, wie dünne Folien, mit seinen optimierten Dünnglas-Handhabungsmechanismen. Darüber hinaus kann KARL RUß/MICROTEC MA 8/BA 8 GEN 3 bei variablen Ausrichtgeschwindigkeiten und Winkeleinstellungen die Zykluszeiten reduzieren und eine Fokussierungsvariabilität verhindern. Zur Korrektur und darüber hinaus stehen eine Reihe von grafischen Benutzeroberflächen zur Verfügung, die bei der Optimierung und Fehlerbehebung des Maskenausrichters helfen können. Dies beinhaltet eine grafische Simulationsfunktion, um genaue Ausrichtungsergebnisse vor und während des Prozesses sicherzustellen. Um weiterhin eine hohe Genauigkeit zu gewährleisten, unterstützt KARL RUß MA8BA8-GEN3 Maskenausrichter auch mehrere Prüf- und Kalibrierpositionen, einschließlich eines berührungslosen berührungslosen Tiefenmesssystems. Für bis zu sechs CCD-Kameras eignet sich MICROTEC MA 8/BA 8 GEN 3 für Batch- oder Single-Wafer-Anwendungen. Es verfügt auch über Revolver-Viewports mit niedriger thermischer Dispersion für Laserausrichtung Verbesserung, sowie einen rotierenden Joystick für einfache Ausrichtung. Der Masken-Aligner wird mit MICROTEC SuperMultiDrive Software betrieben und ist somit mit allen gängigen Thermo-, E-Beam- und optischen Lithographiesystemen kompatibel. Mit beispielloser Genauigkeit und Präzision liefert MICROTEC MA 8/BA 8 Gen3 Maskenausrichter hervorragende Lithographieergebnisse sowohl für Photomasken- als auch für Waferbelichtungen. Dieses Gerät bietet hervorragende Waferbearbeitungsfunktionen und ist ein wesentliches Werkzeug für jede Mikroelektronik.
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