Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 #293609999 zu verkaufen

ID: 293609999
Mask aligner.
MICROTEC MA 8 und BA 8 sind Maskenausrichter, fortschrittliche lithographische Werkzeuge zur Herstellung von optischen Masken, die in der Halbleiterindustrie verwendet werden. Diese Maskenausrichter verfügen über eine computergesteuerte Positioniereinrichtung, die in der Lage ist, lichtempfindlichen Film, der auf einem Chromstab innerhalb der Maschine platziert ist, genau auszurichten und zu belichten. Die MA 8 und BA 8 bieten eine schnelle und genaue Ausrichtung mit einer extrem präzisen Positioniergenauigkeit von bis zu 50 nm und einer Wiederholbarkeit von bis zu 800 nm. Das Ausrichtsystem ermöglicht die Registrierung von Überlagerungen mit Null-Schicht-Registrierung, wenn die Koordinaten der Überlagerungen bekannt sind. Jeder Maskenausrichter ist mit einer eigenen 150 W UV-Halogenlampe und anderen für die Belichtung notwendigen Komponenten ausgestattet, darunter eine Quarzbeleuchtungsoptik und Kollimatoren mit minimaler Verzerrung und einem gleichmäßigen Beleuchtungsfeld. Die Belichtungssteuerung erfolgt über eine automatische Verschlussmaschine und zeitgesteuerte Belichtungseinstellungen. Die Sicherheit ist in die Systeme integriert, mit einem Schutz vor Elektroschocks und Staubverschmutzung mit einem Sicherheitsschild an der Lampe und einem Kamerawerkzeug zur Überwachung des belichteten Materials. Weitere Funktionen sind eine benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche mit einer grafischen Benutzeroberfläche für eine einfache Navigation der Funktionen. Das MA 8-Modell unterstützt eine Arbeitsebene von bis zu 200 x 200 mm und bis zu 6,5 Maskierungsstufen, während das BA 8 bis zu 400 x 400 mm und bis zu 24 Maskierungsstufen unterstützt. Beide Systeme verfügen über Echtzeit-Kalibrierelektronik und virtuelle Flachfeld-Korrektursoftware, die eine verbesserte Genauigkeit und Kontrolle ermöglicht. Die Konstruktion der Systeme sorgt zudem für geringe Vibrationen während des Betriebs und einen leisen Betrieb durch den Einsatz einer geräuscharmen Positionieranlage. Diese Maskenausrichter sind einfach zu bedienen und bieten Zuverlässigkeit und Präzision durch professionelle Komponenten. Die MA 8 und BA 8 bieten robuste Lithographieoptionen für die Herstellung von optischen Masken, die in der Halbleiterindustrie verwendet werden.
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