Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 8 #293587271 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 8 ist ein vollautomatischer photolithographischer Maskenausrichter zur Herstellung integrierter Schaltungen im Submikronbereich. Es ist eine hochpräzise, modulare Maschine, die eine Reihe von schrägen und diagonalen Ausrichtern, UBM- und asphärischen Spiegeln und eine breite Palette von Stufenautomationsebenen unterstützt, um verschiedene Prozessanforderungen zu erfüllen. Dies umfasst sowohl die Batch- als auch die Einzelwaferbearbeitung sowie die hochauflösende Messung von Probenstrukturen. Zu den Hauptkomponenten in MICROTEC MA8 gehören die X-Y-Stufe, die Wafer-Spannfutter, der Probenhalter und das Reticle-Spannfutter. Die X-Y-Stufe ermöglicht Probenbewegungen zur präzisen Ausrichtung mit zwei Präzisionsgeräten, die eine Submikron-Auflösung liefern. Die Scheibenfutter halten dünne Proben bis zu 3 mm dick, und der Probenhalter positioniert sie relativ zum Mikroskop. Es wird unter dem Mikroskop in Position gehalten, und ein Mikroprozessor steuert die Bewegungen des Wafers durch eine Reihe von programmierten Sequenzen. Das Retikelfutter hält die freiliegenden Masken über dem Wafer in Position und seine Bewegung wird auch vom Mikroprozessor gesteuert. Weitere Merkmale von KARL RUß MA-8 sind ein fortschrittliches Fokus-Servosystem, das eine Schrittmotorausrichtung bietet, sowie eine automatisierte Kantenerkennung zur Identifizierung von Probengröße und Form. Die Präzisionsausrichtung ermöglicht eine präzise Platzierung der Probe und eine hochfrequente XY-Linearstufe dient der feinsten Ausrichtung und Positionierung. Das System verfügt auch über einen Vakuumsensor, der zur Steuerung des Belichtungsprozesses verwendet wird. Für maximale Produktivität bietet MICROTEC MA 8 eine pneumatische Drehzahlregelung und automatische Punkt-/Überspannung von lichtempfindlichen Materialien zur UBM-Ausrichtung. Die Maschine verfügt auch über mehrere Belichtungsquellen einschließlich verschiedener Leistungen von Lichtbogenlampen, Röntgenquellen und Lasern. Dies ermöglicht die vollständige Automatisierung von Produktionsprozessen und stellt sicher, dass Chips zuverlässig ausgerichtet und belichtet werden. Abschließend ist MA8 ein vielseitiger, hochpräziser Maskenausrichter, der die perfekte Lösung für die Kreislauffertigung im Submikronbereich ist. Sein modularer Aufbau und eine Reihe automatisierter Funktionen ermöglichen eine genaue ein- oder mehrschichtige Belichtung mit hoher Präzision und Ausrichtung. Mit seinen vielen Vorteilen kann diese Maschine die höchste Qualität und Produktivität Kreis Produktion bieten.