Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA / BA 6 #293826496 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA/BA 6 ist ein vollautomatischer Wafer-Stepper/Masken-Aligner zur Ausrichtung dünner gemusterter Folien (Masken) auf das Substrat. MICROTEC MA/BA 6 wird häufig in der Mikroelektronikindustrie und in Forschungsorganisationen für Fertigungszwecke eingesetzt. Der Wafer-Schritt-/Masken-Aligner weist ein „Strahl“ -Design auf, das aus zwei unabhängigen 6-Achsen-Steuerelementen mit Galvanometern und Reglern besteht. Die Galvanometer steuern die Abtastung der planaren Oberfläche des Substrats. Der Regler hält präzise Koordinatensysteme in allen drei Dimensionen mit hoher Positionsgenauigkeit. KARL RUß MA/BA 6 ist in der Lage, Wafer bis 8 "(200mm) Durchmesser zu handhaben. Es hat eine vollständige Palette von Maskengrößen, von 6 „(152mm) bis zu 8“ (200mm). Die Belichtungsfeldgröße von MA/BA 6 beträgt mindestens 5,5 μ m × 5,5 μ m bis maximal 8 μ m × 8 μ m. Der Stepper ist mit einer Indexausrüstung ausgestattet, die eine präzise Wiederholbarkeit und Genauigkeit ermöglicht. Dies wird durch eine' Vier-Punkte-Bewertungsadresse' erreicht, die vier Löcher aufweist, die gleichmäßig am Rand der Maske (oder des chromlosen Retikels) angeordnet sind, die das Indexsystem erkennt. KARL RUß/MICROTEC MA/BA 6 verfügt über mehrere optionale Merkmale, wie eine Schaumverstelleinheit, die Benutzern die Möglichkeit gibt, eine bestimmte Spannung für die an der Maschine installierte Maske oder das Retikel einzustellen. Der Wafer-Stepper verfügt auch über ein manuell betätigtes Lastschloss, mit dem ein einzelnes oder mehrere Substrate geladen und vor dem Belichtungs-/Ausrichtvorgang abgekühlt werden können. MICROTEC MA/BA 6 enthält auch ein Tandem-Vision-Tool, das mit mehreren Kameras die Bilder der Ausrichtungsziele zum Vergleich erfasst. Einige der fortschrittlicheren Funktionen von KARL RUß MA/BA 6 umfassen: die Möglichkeit, mehrere Aufgaben nacheinander zu programmieren, einen hochauflösenden R2R Maskenplattenleser und einen leistungsstarken Muster-Matching-Algorithmus. Für Aufgaben, die eine höhere Genauigkeit erfordern, kann MA/BA 6 mit einem optionalen Ablenker ausgestattet werden, der die Einstellung des Belichtungsstrahls auf ein extra feines Niveau ermöglicht. KARL RUß/MICROTEC MA/BA 6 verfügt zudem über ein breites Sortiment an kompatiblen Zubehörteilen, die es Anwendern ermöglichen, das Asset weiter anzupassen. Insgesamt ist MICROTEC MA/BA 6 ein fortschrittlicher, automatisierter Wafer Stepper/Maske Aligner, der hilft, die Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Ausrichtungs- und Belichtungsprozesses zu optimieren. Seine Funktionen und kompatibles Zubehör ermöglichen es Benutzern, das Modell an ihre spezifischen Herstellungsanforderungen anzupassen.