Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-21 #9096329 zu verkaufen
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ID: 9096329
Wafergröße: 3"
Double-sided mask aligner, 3"
(2) Lamps: 200 Watt
(2) Power supplies
Automatic light sources
Semi-automatic operation function program
High resolution double-sided alignment: ± 2 Microns.
KARL RUß/MICROTEC MJB-21 ist ein hochpräziser Maskenausrichter, der häufig für die Photolithographie in Massenproduktions- und Forschungsprozessen eingesetzt wird. MICROTEC MJB-21 ist eine 3-achsige, computergesteuerte, hochpräzise Belichtungsmaschine, die hochpräzise Mikrofertigungsprozesse auf verschiedenen Substraten durchführen kann. Es bietet Anwendern ein breites Spektrum an programmierbarer Bewegungssteuerung, Belichtungsbeleuchtung, Belichtungsstufen, vordefinierter Ausrichtungsgenauigkeit und anderen Parametern, die für eine präzise Produktion erforderlich sind. KARL RUß MJB 21 verwendet eine 175-Watt-Quecksilberlampe Xenon als Lichtquelle für die mikroskopische Beleuchtung. Diese Lampe ist robust und zuverlässig, um jedes Mal eine präzise Belichtung zu gewährleisten. Auch diese Lampe hat eine Wellenlänge von 365 nm und kann je nach Art der gewünschten Belichtung eingestellt werden. Darüber hinaus verfügt MJB 21 über eine patentierte SMPR (Sub-Micron Positioning Resolution) -Ausrüstung, die eine Genauigkeit von 0,1 Mikron gewährleistet. Dieses SMPR-System verwendet einen In-Stage-Positionierer und ein Laserinterferometer mit hoher Genauigkeit, das präzise Bewegungen der Arbeitsfläche ermöglicht und gleichzeitig die Ausrichtgenauigkeit auch für kleinste Objekte beibehält. Um eine erfolgreiche Photolithographie für hochpräzise Anwendungen zu gewährleisten, muss die Genauigkeit von KARL RUß MJB-21 überwacht und ausgewertet werden. Dies wird durch regelmäßige Verwendung eines Laserinterferometers überwacht, das in die Maschine eingebaut wird. Das Interferometer stellt sicher, dass alle Belichtungen in der richtigen Ausrichtung durchgeführt werden, was zu optimalen Produktionsergebnissen führt. Die einzigartige SMPR-Technologie von KARL RUß/MICROTEC MJB 21 ermöglicht bei Bedarf die automatische Aktualisierung der aktuellen Ausrichtung mit wenigen benutzerdefinierten Parametern des neuen Prozesses. MJB-21 ist für geringe thermische Drift, hohe Zuverlässigkeit und geringen Wartungsaufwand ausgelegt. Steuerungsalgorithmen sind relativ einfach und das Gerät ist mit mehreren Belichtungs- und Ausrichtungsstufen ausgestattet, sodass Benutzer die am besten geeigneten für ihre Anwendungen auswählen können. Insgesamt ist MICROTEC MJB 21 ein fortschrittlicher Maskenausrichter, der speziell für Mikrofabrikationsprozesse entwickelt wurde. KARL RUß/MICROTEC MJB-21 verfügt über eine breite Palette von anpassbaren Funktionen, wie einstellbare Beleuchtungen, Ausrichtungsstufen und Bewegungssteuerung, die es ermöglichen, präzise und präzise hochpräzise Prozesse durchzuführen. Es ist eine robuste und zuverlässige Maschine, die thermische Drift minimiert und wartungsarm ist. MICROTEC MJB-21 ist ein wesentliches Werkzeug für jeden Prozess, der eine extrem hohe Genauigkeit und Präzision erfordert.
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