Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-21 #9140521 zu verkaufen

KARL SUSS / MICROTEC MJB-21
ID: 9140521
Wafergröße: 3"
Mask aligner, 3" Double side alignment Split field microscope.
KARL RUß/MICROTEC MJB-21 ist ein hochpräziser Maskenausrichter, der vor allem für die Photolithographie verwendet wird. Es wurde entwickelt, um eine saubere, sichere und zuverlässige Umgebung für die präzise Herstellung von Submikron-Halbleiterbauelementen und -Komponenten zu bieten. MICROTEC MJB-21 hat eine beheizte Stufe von 150 mm x 190 mm und ermöglicht die Bewegung eines 4 "Substrats. Es hat eine gleichmäßige Belichtung über 1 x 1 „-Bereiche mit einer maximalen Ausrichtungspunktplatzierung von 5 µm auf einem 4“ -Wafer. Darüber hinaus verfügt KARL RUß MJB 21 über einen Ausrichtungsmonitor mit Bildverarbeitung zur Realisierung einer genauen Ausrichtung und Bindung von Gerätestrukturen. KARL RUß/MICROTEC MJB 21 verfügt über zwei unabhängige, programmierbare 400 Watt Quecksilberbogenlampen mit einer druckgesteuerten gleichmäßigen Belichtungsfläche von 1 x 1 ". Die Lampen sind in der Lage, unabhängig voneinander Belichtungszeiten von 10 Sekunden bis 250 Sekunden mit 11 mJ pro cm2 maximale Leistung zu variieren. Dies ermöglicht die für die Verarbeitung unterschiedlichster Materialien erforderliche Flexibilität. MICROTEC MJB 21 bietet Anwendern eine schnelle, genaue und wiederholbare Ausrichtung mit kollimierter Mikroskopie und verwendet eine manuelle oder automatische Ausrichtung der Substrate relativ zur Maske. MJB-21 Masken-Aligner enthält ein Heizelement in der Stufe, das von Raumtemperatur bis 100 Grad Celsius mit einstellbarer Feuchtigkeit eingestellt werden kann, die für jede Anwendung maßgeschneidert werden kann. Die Bühne verfügt auch über eine präzise Positionierung und Vakuum-Spannausrüstung, die genaue Substratplatzierung und feine Schritte von 0,5 Mikron ermöglicht. KARL RUß MJB-21 verfügt über eine Ferndiagnose- und Wartungsschnittstelle, die die Einrichtung vereinfacht und die allgemeine Zuverlässigkeit verbessert. MJB 21 verwendet auch ein modernes Vakuumsystem, um die Bewegung der Luft während des Ausrichtvorgangs zu minimieren. Dies gewährleistet eine genaue Ausrichtung mit wiederholbaren Ergebnissen und reduziert die Verschmutzung der Vorrichtung. KARL RUß/MICROTEC MJB-21 verfügt über eine Doppelabhebeeinheit, die automatisch zwei Masken gleichzeitig verarbeitet und eine Zentriermaschine, die beide Masken exakt positioniert. Dies ermöglicht eine effizientere und genauere Verarbeitung von Geräten auch bei komplexen Layouts. MICROTEC MJB-21 ist ein hochpräziser Maskenausrichter, der den Anwendern die fortschrittlichste und genaueste Photolithographie-Verarbeitung zur Verfügung stellt. Es bietet eine gleichmäßig belichtete Fläche von 1x1 „, mit einer maximalen Ausrichtstelle von 5 Mikron auf einem 4“ -Wafer. Es verfügt über zwei unabhängige, programmierbare 400-Watt-Quecksilberbogenlampen, eine druckgesteuerte gleichmäßige Belichtungsfläche von 1 x 1 ", eine Ferndiagnose- und Wartungsschnittstelle, ein modernes Vakuumwerkzeug und eine doppelte Abhebeeinrichtung, die eine gleichzeitige Verarbeitung von zwei Masken ermöglicht. All diese Eigenschaften machen KARL RUß MJB 21 zu einem idealen Werkzeug für eine effiziente und genaue Photolithographie-Verarbeitung.
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