Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #114445 zu verkaufen
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ID: 114445
Wafergröße: 3"
Mask aligner, 3"
Upgraded touch screen
Front and backside alignment capability
Lamp: 350 Watt
High resolution alignment
Soft contact option
Objectives: 2.5x, 5x, 20x and 32x.
KARL RUß/MICROTEC MJB-3 ist ein Masken-Aligner, der für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Es ist eine hochpräzise Ausrichtungsausrüstung, die eine einzigartige hochauflösende optische Bildgebungstechnologie verwendet, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Das System ist für die Abbildung und Ausrichtung von zwei oder drei einzelnen Photomasken auf vordefinierte Muster auf einem Wafer zur Herstellung fortgeschrittener Halbleiter ausgelegt. MICROTEC MJB3 verwendet eine einzigartige Kombination aus Robotik, Optik und Software, um vordefinierte Photomasken genau auf einen Wafer auszurichten. Es verfügt über einen integrierten eigenständigen PC mit einer proprietären Grafik-Benutzeroberfläche (GUI) und einem Steuerprogramm, mit dem Benutzer ihre Ausrichtungen bequem einrichten, ausrichten und überwachen können. Es ist auch mit mehreren benutzerdefinierten Standardausrichtungsparametern wie Zielposition, Bildqualität und Ausrichtgeschwindigkeit ausgestattet. KARL RUß MJB 3 ist für die einfache Konfiguration und Handhabung von bis zu drei Masken gleichzeitig konzipiert. Es verwendet einen einzelnen Strahl pro Maske in einer Vollfeldprojektionseinheit, die hervorragende Wärmeleistung, grundlegende Bildaberrationen und hohe Genauigkeit in der Ausrichtung bietet. Zusätzlich ermöglicht das Mikroskop die Abtastung von Wafern mit genau ausgerichteten Sub-Pixelpositionen. Die erhöhte Auflösung ist vorteilhaft für die Ausrichtung von Masken innerhalb eines Sichtfeldes bis zu 5 µm. KARL RUß MJB 3 ist eine automatisierte Maschine, die mit einem Hochgeschwindigkeits-Roboterarm, geschlossenen Kammern, digitalen Encodern und Lagerschiebern, ausgefeilter Software und einer beeindruckenden Auswahl an digitalen Detektoren ausgestattet ist, um die Ausrichtung schnell und präzise durchzuführen. Es bietet auch eine sehr wiederholbare und genaue Ausrichtungsleistung. Der Aligner unterstützt auch eine Vielzahl von Photomasken, die von Dünnschichtphotomasen bis hin zu großen Stufen- und Wiederholungsmustern reichen. Zusammenfassend ist KARL RUß MJB-3 ein leistungsstarker und benutzerfreundlicher Maskenausrichter, der sich für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente eignet. Es bietet eine hohe Genauigkeit, Präzision und Wiederholbarkeit für die Ausrichtung von Photomasken auf einen Wafer in einem kleinen Sichtfeld. Es ist ein automatisiertes Werkzeug, das sich perfekt für die Herstellung von Halbleiterscheiben eignet und in einer Vielzahl von Produktionsstätten installiert ist.
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